*、項目信息

采購人：西湖大學光電研究院[聯系方式]

項目名稱：特殊氮化硅硬掩膜硅基非標準特殊開槽晶圓級工藝

擬采購的服務說明：

采用單*來源采購方式的原因及說明：

非易失相變調控器件采用特殊相變材料，對波導進行非易失相位調制，且方案不能對現有硅光***器件性能造成破壞，這需要非標準特殊開槽工藝進行加工流片，否則硅波導上方的氧化硅層將阻礙相變材料集成在波導上，而無法實現非易失調控。

*****具備****線寬能力、且可提供定制開槽工藝滿足我方需求。主要包括后道工藝開發和前道工藝開發，其中后道工藝開發步驟主要是硅光全流程工藝之后開槽到氮化硅頂部前道工藝開發具體工藝流程如下，先由*****完成前道集成到摻雜工藝，并完成光刻膠步驟再寄回由我方完成相變和氧化硅晶圓制備我方完成后再寄回*****完成后道及兩層金屬工藝開發。因此，中國科學院上海微系統與信息技術研究所(*****)工藝平臺是唯*制造平臺。

*、擬定供應商信息

*、公示期限

****年**月**日至****年**月**日。

*、其他補充事宜

本項目公告期限為*個工作日，供應商對該項目擬采用單*來源采購方式及其理由和相關需求有異議的，可以在公示期限內（截止時間為本公示發布之日后的第*個工作日），以書面形式向采購人提出異議。

*、聯系方式

采購人名稱：西湖大學光電研究院[聯系方式]

地址：杭州市富陽區江南路**號*樓

聯系人：王老師

聯系方法：****-********

附件信息: