招標公告

*維異構射頻***高精度疊層組裝快速驗證系統項目已具備招標條件。資金已落實。中科信工程咨詢（北京）有限責任公司[聯系方式]（招標代理機構）受中國電子科技集團公司[聯系方式]第*研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

*. 招標范圍

*.* 貨物名稱：*維異構射頻***高精度疊層組裝快速驗證系統

*.* 招標編號：****-************

*.* 主要功能要求：*維異構射頻***高精度疊層組裝快速驗證系統由晶圓鍵合系統，倒裝焊設備，等離子清洗機，氮氣存儲設備等組成，用途如下：?

晶圓鍵合系統可進行晶圓的高精度對位，對位后裝夾轉移，晶圓的共晶鍵合、金屬擴散鍵合等工藝能力，可實現硅基***的晶圓級氣密封裝。

倒裝焊設備用于我所微波/毫米波射頻組件堆疊工藝，運用高精度取放系統拾取芯片/基板，再貼放到對應的基板上，通過加熱加壓或者超聲加熱功能使芯片/基板上的凸點融化并且互聯到基板的對應電路上，從而實現芯片與芯片，基板與基板之間的疊層焊接互連。

等離子清洗機具備表面污染物去除功能，可用于晶圓鍵合、金絲鍵合前鍵合面清洗，保障鍵合質量。

氮氣存儲設備用于晶圓、硅基***模塊的存儲，設備通過氮氣氛圍可有效降低存儲柜內部氧含量及濕度，減少晶圓、硅基***模塊鍵合面氧化。

*.*主要技術指標：

①　可加工芯片尺寸：（***）不低于***～****范圍 ，厚度不低于*.**** ～*** 范圍；

②　鍵合頭溫度：至少包含常溫～***±*℃范圍；

③　倒裝鍵合對位精度：不低于±*μ*

*.* 數量：*套。

*.* 交貨期：*個月。

*.* 項目現場：中國電子科技集團公司[聯系方式]第*研究所。

*. 對投標人的資格要求

*.*投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。

*.*設備業績要求：投標人應提供本次所投主要設備(倒裝焊設備及晶圓鍵合系統)同型號的產品在國內的供貨業績，提供附帶有技術協議或技術指標的合同復印件，合同內容應能體現甲乙雙方簽字或蓋章頁、標的物型號、制造商名稱（必須為本次投標產品制造商）、技術協議或技術指標等主要內容，未按上述要求提供的業績證明均不予認可。

*.*本次招標接受代理商投標。

*.*本次招標不接受聯合體投標。

*.*投標人必須向招標代理機構購買招標文件并進行登記才具有投標資格；接受委托參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加投標。

*. 招標文件獲取

*.*凡有意參加投標者，請于****年**月**日至****年**月**日**時(北京時間)，登*中招聯合招標采購平臺（網址：***.********.***.**,注冊操作咨詢電話***-********）購買并下載招標文件，現場不予受理。

*.* 招標文件每套售價人民幣***元，售后不退。

*. 投標文件的遞交

*.*投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為****年**月**日*時**分，地點為天奧賓館會議室（成都市金牛區茶店子東街**號）。

*.*逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。

*. 開標

開標時間同投標文件遞交的截止時間，開標地點同投標文件遞交地點。

*. 發布公告的媒介

本次招標公告同時在中國招標投標公共服務平臺、中國國際招標網、中招聯合招標采購平臺上發布。

*.聯系方式

招標人名稱：中國電子科技集團公司[聯系方式]第*研究所

地址：成都市營康西路**號

聯系人：陳果

電話： ***-********

傳真： ***-********

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招標代理機構名稱：中科信工程咨詢（北京）有限責任公司[聯系方式]

地址：北京市海淀區金溝河路與采石北路*字路口東南角**號大樓

聯系人：李經理

電話：***-********

項目負責人：唐玲

電子郵件：**********@******.***

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