發布公告
| 更新時間 | 2024-07-04 | 招標單位 | 我要查看 |
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| 申購單主題： | 高真空電阻蒸發鍍膜 | 申購單位： | 深圳超滑技術研究所 | ||||
| 申購備注： | 中標商必須開具增值稅專用發票 | ||||||
| 商品名稱 | 品牌 | 型號 | 數量 | 報價類型 | 售后服務 | ||
| 高真空電阻蒸發鍍膜 | 不指定品牌 | 不指定型號 | * | 國內含稅價/人民幣 | |||
| 規格 | *.蒸鍍腔體：****** 不銹鋼，*×*×*：***×***×*****（凈尺寸）；真空室內表面及防污板等拋光至鏡面；結構：方形，前后開門；頂部裝配基片臺、基片臺擋板、膜厚儀探頭、真空照明；底部裝配蒸發源；主抽氣口位于腔室底部正中心位置。 *.真空系統：復合分子泵+直聯旋片泵，超高真空氣動插板閥；“兩低*高”數顯復合真空計，型號：***-*****，測量范圍：*×***～*×**-***； *.真空極限：優于 *.*×**-***（*.*×**-*****）；抽速：分子泵完全啟動，抽至 *.*×**-***≤*****；分子泵：型號 **-***/****，進氣口法蘭 *****，抽氣速率：*****/*；機械泵：型號 ***-**，進氣口法蘭 ****，抽氣速率：**/*；高真空測量規管采用貴金屬氧化物陰極，具有抗氧化，耐瞬時大氣沖擊的特點，性能穩定，壽命長，規管靈敏度：*.**±**%**-*。 *.基片臺：抽屜式結構，基片托尺寸：***×*****，該范圍內可裝卡各種規格的樣品/基片；樣品臺配有氣動擋板，磁流體密封；樣品臺旋轉：旋轉速度 *-** 轉/分連續可調，磁流體密封，光控定位，設定在前門中心位置方便取樣；樣品掩膜：提供*塊掩膜板 *.蒸發源：安裝 * 組蒸發源；各源均有水冷且獨立，可蒸鍍金屬材料（舟式源/掛絲源）和有機材料（坩堝源/盒式源） *.蒸發電源：* 臺 *.*** 蒸發電源，可采用恒流/恒功率控制，可以預設工作電流； *.膜厚監控：采用 ******* 薄膜沉積監控儀（型號：***-***）在線監測、控制膜厚，* 只水冷探頭；膜厚儀速率顯示分辨率±*.*ā/*，厚度顯示分辨率±*.*ā； *.操控系統：*** 手自動控制，觸摸屏操作； *.報警保護 缺水報警、真空閥門互鎖保護、過流過壓保護、防誤操作保護等。 **.主閥采用超高真空氣動插板閥(***-***)； 預抽閥、前級閥采用高真空氣動擋板閥（***-***），預抽閥和前級閥智能互鎖；放氣閥采用電磁截止閥（****-*），可與手套箱連接； **.備品備件清單：鎢舟 ** 個；鉬舟 ** 個；有機源坩堝 * 個；高純鋁顆粒 ** 克；高純鎳顆粒 ** 克；高純鉻顆粒 ** 克；高純銅顆粒 ** 克；石英晶振片 ** 只；**** 銅墊圈 * 個；設備上相應規格密封圈 * 批；內*角工具 * 套，螺絲 * 批 **.安裝需求：需要與手套箱廠家溝通，配合安裝于手套箱內 。 | ||||||
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