【先進制造】【電子信息】***********復雜微結構*維光學顯微測量技術(哈工大儀器學院)

【成果簡介】

突破復雜微結構表面測量瓶頸和高精密光學元件亞表面缺陷檢測難題，研制復雜微結構*維光學顯微測量儀。儀器集成明場、暗場、熱波和熒光*種*維顯微成像模態，可實現表面與亞表面高精度*體化*維測量，同時具備缺陷吸收性評估和識別功能。通過選擇不同模塊和配件，滿足各種個性化的測量需求。

【技術指標】

顯微視場≥***μ*****μ*水平方向表面顯微分辨率≤*****水平方向亞表面顯微分辨率≤*****垂直方向測量范圍*μ*~**μ*垂直方向分辨≤****光滑微結構測傾斜角度≥**°；單*材料臺階高度測量誤差≤*%多層材料臺階高度測量誤差≤*%亞表面缺陷檢測深≥***μ*缺陷檢出靈敏度≤*****深度定位精度≤*μ*。

【應用前景】

成果儀器可應用于高能激光領域，實現高能光學元件表面與亞表面缺陷測量可應用于半導體集成電路領域，實現芯片特征尺寸測量。

【聯系人及聯系方式】

喬老師，****-********

馬老師，****-********

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