*、詢價采購編號：********

*、詢價人：蘇州大學采購與招投標管理中心[聯系方式]

地址：江蘇省蘇州市東環路**號凌云樓***室

郵編：******　　　　　　? ? 傳真：****-********

聯系人：丁老師　　　　　　電話：****-********，********

電子郵箱：*****@****.***.**

技術聯系人：朱老師? ? ? ? ? ? ? ? 電話：***********

電子郵箱：*******@****.***.**

*、設備名稱、數量及主要技術指標等要求

等離子體處理機　　*套

（*）主要性能指標和配置要求

*．自動和手動控制模式，處理中可隨時更改狀態參數。

*．可視化操作界面，通過觸摸液晶屏進行工藝程序存儲，等離子體處理功率，等離子體處理時間，壓力，流量，流量比(氣體混合物)，泵停機時間，供氣時間，通風時間等操作。該系統允許在過程結束時自動排氣或保持在真空。

*．可設定等離子功率*****(*-****）可調、真空壓力、氣體流量、氣體混合比例、通氣時間、破真空時間等參數。

*．極限真空度優于**-*****。

*．*路***數字流量計，精度±*%，重復性±*.**%。可通入**、**、**、**、***、***等非腐蝕氣體，可控制通氣流量和通氣時間。

*．壓力互鎖功能，抽真空壓力*.****以下，其他工藝功能才能啟動。

*．射頻發生器，*****，*-****連續可調

*．腔體材料：不銹鋼；腔體體積≥***

*．可移動式托盤，可同時容納多個樣品進行處理。

**．帶觀察窗，實時觀測腔體動態。裝載門報警開關：門閉合不到位、漏氣等進行報警。

**．真空泵與設備聯動控制，由等離子設備控制啟停。

（*）質保期不少于*年

*、報價截止時間：****年*月**日**：**。

*、詢價采購文件價格：人民幣***元（相關繳納事宜詳見），售后不退。

*、有興趣并符合資格條件的供應商，請務必認真閱讀《蘇州大學網上詢價采購儀器設備報價須知》，在接受其所有條款要求的基礎上按要求進行報價。

*、報價文件遞交：順豐快遞郵寄（請充分考慮快遞送達時間，避免錯過時間）。

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詢價采購編號：********

成交供應商：