序號

指標項

重要性

指標要求

關鍵指標理由

*

運行環境要求

?

*.* 電源：***~****，**/** **，***

*.*溫度：操作環境**°*- ? **°*

*.* 濕度：＜**%**

*.*總體要求：可對樣品表面形貌快速檢測；后期可拓展安裝樣品***能譜探測器；設備操作簡便，科研技術人員可以快速掌握操作方法；設備在滿足分辨率的前提下能夠進行快速成像；設備對放置環境要求低；設備維護周期長。

?

*

電子光學系統

?

▲*.*分辨率：*** @****? (** *****) ? ；****@**** (*** ? *****)，以金顆粒為標準樣品，用分辨率測試軟件提供分辨率測試結果；

*.*電子槍：*極自動偏壓，預對中鎢絲陰極，

★*.*放大倍數：***~***,**** ,提供軟件截圖證明；

▲*.*加速電壓：*-****, 每***為*步連續可調，提供軟件截圖證明；

*.*電磁對中器：*極電磁式

*.*電磁透鏡：*級聚光鏡，*級物鏡，

*.*物鏡光闌：*位可變孔徑（**μ*、**μ*、**μ*、***μ*）

*.*消像散器：*極電磁式

*.*掃描光柵運動：電位移 ? ±**μ*，電旋轉***°

核心性能指標

*

真空系統

?

*.*全自動控制，真空、高壓互鎖安全保護，高真空時間小于*分鐘

*.*配備渦輪分子泵真空系統

*.*配備旋片式機械泵|真空規|電動真空閘板閥|邏輯控制閥門

*.*高真空優于****-***

*.* 電子槍束流實時顯示（*-*****）

關鍵部件

*

樣品室系統

?

▲*.*樣品臺：*軸馬達驅動樣品臺*、*、**軸自動，*軸電子束***°旋轉，提供軟件截圖證明；

▲*.*樣品臺行程：*≥****；*≥****；*≥*-****；****，±**°；*,***°，提供軟件截圖證明

▲*.*可放置最大樣品尺寸：直徑****，高度****，提供測量尺寸證明

*.*工作距離：*-****

▲*.* ? *軸可在拍照過程中自由調節，提供軟件截圖證明

★*.* 樣品室尺寸: 長≥*****；寬≥*****；高≥****，提供測量尺寸證明

重要部件

*

探測器系統

?

*.*配備*次電子探測器（**）

*.*配備高靈敏度*分割半導體背散射電子探測器（***）

★*.*配備紅外***相機用于觀察樣品上表面到物鏡下表面的工作距離（提供軟件截圖證明）

關鍵部件

*

掃描模式

?

*.* 聚焦模式：******* *****，可移動，尺寸可變

*.* **掃描模式：******* *****

*.* 慢掃描模式：用于**模式及聚焦模式

*.* 照相模式：最大********* *****

*.* 高級掃描模式：動態聚焦

重要功能

*

拍照及存儲

?

*.*圖像格式：***, ****, ****,***

*.*自動功能：

*.*亮度/對比度,

*.*聚焦，電子槍對中、偏壓、飽和，

*.*物鏡光闌搖擺對中，

*.*自動照相

重要功能

*

參數顯示

?

*.* 加速電壓實時顯示***-****

*.* 放大倍率實時顯示***~***,****

*.* 束斑尺寸有**個檔位

*.* 工作距離實時顯示

*.* 樣品臺位置實時顯示

?

*

軟件功能

?

*.* 燈絲壽命統計

*.* 同用戶下可更改保存文件夾

*.* 預覽模式和對焦模式多幀合成

?

**

控制系統

?

**.* 基于*****/*****，********專用控制軟件；

**.* 內嵌長度角度面積測量、圖像編輯處理工具、圖像實時灰度直方圖顯示；

**.* 不低于酷睿** *.**** ***、*****/*****、**內存/****硬盤、**英寸***顯示屏；

**.* ***%鼠標鍵盤操作。

?

**

隨機附帶耗材

?

**.*預對中燈絲 **支，

標準樣品托**個，

**.*鑷子*個，

**.*碳雙面導電膠帶*盤，

**.*專用工具*套。

?

**

隨機附帶資料

?

**.*操作手冊 *份；

**.*工廠驗收報告。

?

**

主機尺寸及重量

?

**.*外形尺寸：≤***（*） * ***（*） * ***（*）** ；

**.*整機重量：≤****；方便隨時移動設備用于現場測試。

?

**

其他

?

▲**.*配備原廠離子濺射儀，要求和主機為同*品牌。

**.*配備超聲波振蕩器。

?

序號

指標項

重要性

指標要求

關鍵指標理由

*

運行環境要求

?

*.* 電源：***~****，**/** **，***

*.*溫度：操作環境**°*- ? **°*

*.* 濕度：＜**%**

*.*總體要求：可對樣品表面形貌快速檢測；后期可拓展安裝樣品***能譜探測器；設備操作簡便，科研技術人員可以快速掌握操作方法；設備在滿足分辨率的前提下能夠進行快速成像；設備對放置環境要求低；設備維護周期長。

?

*

電子光學系統

?

▲*.*分辨率：*** @****? (** *****) ? ；****@**** (*** ? *****)，以金顆粒為標準樣品，用分辨率測試軟件提供分辨率測試結果；

*.*電子槍：*極自動偏壓，預對中鎢絲陰極，

★*.*放大倍數：***~***,**** ,提供軟件截圖證明；

▲*.*加速電壓：*-****, 每***為*步連續可調，提供軟件截圖證明；

*.*電磁對中器：*極電磁式

*.*電磁透鏡：*級聚光鏡，*級物鏡，

*.*物鏡光闌：*位可變孔徑（**μ*、**μ*、**μ*、***μ*）

*.*消像散器：*極電磁式

*.*掃描光柵運動：電位移 ? ±**μ*，電旋轉***°

核心性能指標

*

真空系統

?

*.*全自動控制，真空、高壓互鎖安全保護，高真空時間小于*分鐘

*.*配備渦輪分子泵真空系統

*.*配備旋片式機械泵|真空規|電動真空閘板閥|邏輯控制閥門

*.*高真空優于****-***

*.* 電子槍束流實時顯示（*-*****）

關鍵部件

*

樣品室系統

?

▲*.*樣品臺：*軸馬達驅動樣品臺*、*、**軸自動，*軸電子束***°旋轉，提供軟件截圖證明；

▲*.*樣品臺行程：*≥****；*≥****；*≥*-****；****，±**°；*,***°，提供軟件截圖證明

▲*.*可放置最大樣品尺寸：直徑****，高度****，提供測量尺寸證明

*.*工作距離：*-****

▲*.* ? *軸可在拍照過程中自由調節，提供軟件截圖證明

★*.* 樣品室尺寸: 長≥*****；寬≥*****；高≥****，提供測量尺寸證明

重要部件

*

探測器系統

?

*.*配備*次電子探測器（**）

*.*配備高靈敏度*分割半導體背散射電子探測器（***）

★*.*配備紅外***相機用于觀察樣品上表面到物鏡下表面的工作距離（提供軟件截圖證明）

關鍵部件

*

掃描模式

?

*.* 聚焦模式：******* *****，可移動，尺寸可變

*.* **掃描模式：******* *****

*.* 慢掃描模式：用于**模式及聚焦模式

*.* 照相模式：最大********* *****

*.* 高級掃描模式：動態聚焦

重要功能

*

拍照及存儲

?

*.*圖像格式：***, ****, ****,***

*.*自動功能：

*.*亮度/對比度,

*.*聚焦，電子槍對中、偏壓、飽和，

*.*物鏡光闌搖擺對中，

*.*自動照相

重要功能

*

參數顯示

?

*.* 加速電壓實時顯示***-****

*.* 放大倍率實時顯示***~***,****

*.* 束斑尺寸有**個檔位

*.* 工作距離實時顯示

*.* 樣品臺位置實時顯示

?

*

軟件功能

?

*.* 燈絲壽命統計

*.* 同用戶下可更改保存文件夾

*.* 預覽模式和對焦模式多幀合成

?

**

控制系統

?

**.* 基于*****/*****，********專用控制軟件；

**.* 內嵌長度角度面積測量、圖像編輯處理工具、圖像實時灰度直方圖顯示；

**.* 不低于酷睿** *.**** ***、*****/*****、**內存/****硬盤、**英寸***顯示屏；

**.* ***%鼠標鍵盤操作。

?

**

隨機附帶耗材

?

**.*預對中燈絲 **支，

標準樣品托**個，

**.*鑷子*個，

**.*碳雙面導電膠帶*盤，

**.*專用工具*套。

?

**

隨機附帶資料

?

**.*操作手冊 *份；

**.*工廠驗收報告。

?

**

主機尺寸及重量

?

**.*外形尺寸：≤***（*） * ***（*） * ***（*）** ；

**.*整機重量：≤****；方便隨時移動設備用于現場測試。

?

**

其他

?

▲**.*配備原廠離子濺射儀，要求和主機為同*品牌。

**.*配備超聲波振蕩器。

?

序號

指標項

重要性

指標要求

關鍵指標理由

*

運行環境要求

?

*.* 電源：***~****，**/** **，***

*.*溫度：操作環境**°*- ? **°*

*.* 濕度：＜**%**

*.*總體要求：可對樣品表面形貌快速檢測；后期可拓展安裝樣品***能譜探測器；設備操作簡便，科研技術人員可以快速掌握操作方法；設備在滿足分辨率的前提下能夠進行快速成像；設備對放置環境要求低；設備維護周期長。

?

*

電子光學系統

?

▲*.*分辨率：*** @****? (** *****) ? ；****@**** (*** ? *****)，以金顆粒為標準樣品，用分辨率測試軟件提供分辨率測試結果；

*.*電子槍：*極自動偏壓，預對中鎢絲陰極，

★*.*放大倍數：***~***,**** ,提供軟件截圖證明；

▲*.*加速電壓：*-****, 每***為*步連續可調，提供軟件截圖證明；

*.*電磁對中器：*極電磁式

*.*電磁透鏡：*級聚光鏡，*級物鏡，

*.*物鏡光闌：*位可變孔徑（**μ*、**μ*、**μ*、***μ*）

*.*消像散器：*極電磁式

*.*掃描光柵運動：電位移 ? ±**μ*，電旋轉***°

核心性能指標

*

真空系統

?

*.*全自動控制，真空、高壓互鎖安全保護，高真空時間小于*分鐘

*.*配備渦輪分子泵真空系統

*.*配備旋片式機械泵|真空規|電動真空閘板閥|邏輯控制閥門

*.*高真空優于****-***

*.* 電子槍束流實時顯示（*-*****）

關鍵部件

*

樣品室系統

?

▲*.*樣品臺：*軸馬達驅動樣品臺*、*、**軸自動，*軸電子束***°旋轉，提供軟件截圖證明；

▲*.*樣品臺行程：*≥****；*≥****；*≥*-****；****，±**°；*,***°，提供軟件截圖證明

▲*.*可放置最大樣品尺寸：直徑****，高度****，提供測量尺寸證明

*.*工作距離：*-****

▲*.* ? *軸可在拍照過程中自由調節，提供軟件截圖證明

★*.* 樣品室尺寸: 長≥*****；寬≥*****；高≥****，提供測量尺寸證明

重要部件

*

探測器系統

?

*.*配備*次電子探測器（**）

*.*配備高靈敏度*分割半導體背散射電子探測器（***）

★*.*配備紅外***相機用于觀察樣品上表面到物鏡下表面的工作距離（提供軟件截圖證明）

關鍵部件

*

掃描模式

?

*.* 聚焦模式：******* *****，可移動，尺寸可變

*.* **掃描模式：******* *****

*.* 慢掃描模式：用于**模式及聚焦模式

*.* 照相模式：最大********* *****

*.* 高級掃描模式：動態聚焦

重要功能

*

拍照及存儲

?

*.*圖像格式：***, ****, ****,***

*.*自動功能：

*.*亮度/對比度,

*.*聚焦，電子槍對中、偏壓、飽和，

*.*物鏡光闌搖擺對中，

*.*自動照相

重要功能

*

參數顯示

?

*.* 加速電壓實時顯示***-****

*.* 放大倍率實時顯示***~***,****

*.* 束斑尺寸有**個檔位

*.* 工作距離實時顯示

*.* 樣品臺位置實時顯示

?

*

軟件功能

?

*.* 燈絲壽命統計

*.* 同用戶下可更改保存文件夾

*.* 預覽模式和對焦模式多幀合成

?

**

控制系統

?

**.* 基于*****/*****，********專用控制軟件；

**.* 內嵌長度角度面積測量、圖像編輯處理工具、圖像實時灰度直方圖顯示；

**.* 不低于酷睿** *.**** ***、*****/*****、**內存/****硬盤、**英寸***顯示屏；

**.* ***%鼠標鍵盤操作。

?

**

隨機附帶耗材

?

**.*預對中燈絲 **支，

標準樣品托**個，

**.*鑷子*個，

**.*碳雙面導電膠帶*盤，

**.*專用工具*套。

?

**

隨機附帶資料

?

**.*操作手冊 *份；

**.*工廠驗收報告。

?

**

主機尺寸及重量

?

**.*外形尺寸：≤***（*） * ***（*） * ***（*）** ；

**.*整機重量：≤****；方便隨時移動設備用于現場測試。

?

**

其他

?

▲**.*配備原廠離子濺射儀，要求和主機為同*品牌。

**.*配備超聲波振蕩器。

?

序號

指標項

重要性

指標要求

關鍵指標理由

*

運行環境要求

?

*.* 電源：***~****，**/** **，***

*.*溫度：操作環境**°*- ? **°*

*.* 濕度：＜**%**

*.*總體要求：可對樣品表面形貌快速檢測；后期可拓展安裝樣品***能譜探測器；設備操作簡便，科研技術人員可以快速掌握操作方法；設備在滿足分辨率的前提下能夠進行快速成像；設備對放置環境要求低；設備維護周期長。

?

*

電子光學系統

?

▲*.*分辨率：*** @****? (** *****) ? ；****@**** (*** ? *****)，以金顆粒為標準樣品，用分辨率測試軟件提供分辨率測試結果；

*.*電子槍：*極自動偏壓，預對中鎢絲陰極，

★*.*放大倍數：***~***,**** ,提供軟件截圖證明；

▲*.*加速電壓：*-****, 每***為*步連續可調，提供軟件截圖證明；

*.*電磁對中器：*極電磁式

*.*電磁透鏡：*級聚光鏡，*級物鏡，

*.*物鏡光闌：*位可變孔徑（**μ*、**μ*、**μ*、***μ*）

*.*消像散器：*極電磁式

*.*掃描光柵運動：電位移 ? ±**μ*，電旋轉***°

核心性能指標

*

真空系統

?

*.*全自動控制，真空、高壓互鎖安全保護，高真空時間小于*分鐘

*.*配備渦輪分子泵真空系統

*.*配備旋片式機械泵|真空規|電動真空閘板閥|邏輯控制閥門

*.*高真空優于****-***

*.* 電子槍束流實時顯示（*-*****）

關鍵部件

*

樣品室系統

?

▲*.*樣品臺：*軸馬達驅動樣品臺*、*、**軸自動，*軸電子束***°旋轉，提供軟件截圖證明；

▲*.*樣品臺行程：*≥****；*≥****；*≥*-****；****，±**°；*,***°，提供軟件截圖證明

▲*.*可放置最大樣品尺寸：直徑****，高度****，提供測量尺寸證明

*.*工作距離：*-****

▲*.* ? *軸可在拍照過程中自由調節，提供軟件截圖證明

★*.* 樣品室尺寸: 長≥*****；寬≥*****；高≥****，提供測量尺寸證明

重要部件

*

探測器系統

?

*.*配備*次電子探測器（**）

*.*配備高靈敏度*分割半導體背散射電子探測器（***）

★*.*配備紅外***相機用于觀察樣品上表面到物鏡下表面的工作距離（提供軟件截圖證明）

關鍵部件

*

掃描模式

?

*.* 聚焦模式：******* *****，可移動，尺寸可變

*.* **掃描模式：******* *****

*.* 慢掃描模式：用于**模式及聚焦模式

*.* 照相模式：最大********* *****

*.* 高級掃描模式：動態聚焦

重要功能

*

拍照及存儲

?

*.*圖像格式：***, ****, ****,***

*.*自動功能：

*.*亮度/對比度,

*.*聚焦，電子槍對中、偏壓、飽和，

*.*物鏡光闌搖擺對中，

*.*自動照相

重要功能

*

參數顯示

?

*.* 加速電壓實時顯示***-****

*.* 放大倍率實時顯示***~***,****

*.* 束斑尺寸有**個檔位

*.* 工作距離實時顯示

*.* 樣品臺位置實時顯示

?

*

軟件功能

?

*.* 燈絲壽命統計

*.* 同用戶下可更改保存文件夾

*.* 預覽模式和對焦模式多幀合成

?

**

控制系統

?

**.* 基于*****/*****，********專用控制軟件；

**.* 內嵌長度角度面積測量、圖像編輯處理工具、圖像實時灰度直方圖顯示；

**.* 不低于酷睿** *.**** ***、*****/*****、**內存/****硬盤、**英寸***顯示屏；

**.* ***%鼠標鍵盤操作。

?

**

隨機附帶耗材

?

**.*預對中燈絲 **支，

標準樣品托**個，

**.*鑷子*個，

**.*碳雙面導電膠帶*盤，

**.*專用工具*套。

?

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隨機附帶資料

?

**.*操作手冊 *份；

**.*工廠驗收報告。

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**

主機尺寸及重量

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**.*外形尺寸：≤***（*） * ***（*） * ***（*）** ；

**.*整機重量：≤****；方便隨時移動設備用于現場測試。

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其他

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▲**.*配備原廠離子濺射儀，要求和主機為同*品牌。

**.*配備超聲波振蕩器。

?