序號

指標項

重要性

指標要求

關鍵指標理由

*、

基本配置

基本配置

*

技術原理

★

陣列螺旋微孔轉盤共聚焦掃描

*

相機像素:

****×******，≥****像素

*

光源

白光***；

*

物鏡轉塔參數:

? 至少*孔電動物鏡塔臺

*

物鏡配置：

**、**×、***、***（***）、****（***）各*個

*

**位移臺：

行程***×*****，電動控制，配置***°手動旋轉盤

*

*軸行程:

*****，電動控制

*

校準模組：

*μ*臺階高標準塊、超光滑標準塊

*

顯示分辨率：

*.***

**

品牌計算機

圖形工作站*** **，***內存，****固態存儲+**硬盤，*** *******獨立顯卡，**英寸液晶顯示器。

配合學生聯機使用電腦*臺，********塔式（********）*****-**?? 的電腦：**-*****/****(******) ****/****固態 +*** *******/集成顯卡/串口/無光驅，**英寸液晶顯示器

*、

技術規格

技術規格

*

*向掃描范圍

≥****；

*

臺階高度測量精度

≤*%（*μ*臺階高標準塊）；

*

臺階高度測量重復性

≤****（*μ*臺階高標準塊）；

*

寬度測量重復性

≤****

*、

產品功能：

產品功能：

*

影像測量功能

支持在實時視窗上直接進行平面輪廓尺寸的影像測量，點、線間的長度、角度、直徑等參數的測量，支持模板快速測量；

*

單區域自動測量

單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可*鍵實現條紋自動搜索、掃描范圍自動設置、自動測量與自動分析等功能；

*

多區域自動測量

支持****點定位識別，支持以圓形或方形陣列形式設置的數百多個測量點位，支持每個測量區域的分析模板單獨設置或批量設置，支持每個測量區域的掃描范圍自動設置；

*

自動拼接測量；

支持方形、圓形、環形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能，可自定義測量區域，單獨設置每個小區域是否參與拼接測量，每個測量區域均為自動設置掃描范圍，支持數千張圖像的無縫拼接測量；

*

編程測量功能

支持測量和分析同界面操作的軟件模塊，可預先配置數據處理和分析步驟，結合自動測量功能，實現*鍵測量；

*

數據處理功能

提供位置調整、去噪、濾波、提取*大模塊的數據處理功能，其中包含去除指定半徑和曲面方向的球體去除和柱面去除功能；

*

數據分析功能

★

提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等*大分析功能，還包含透明微球壁厚自動分析功能、陣列彈坑深度自動分析功能、非球面系數自動分析功能、絨面陣列金字塔自動統計分析功能、柵線深寬度自動識別分析功能。

*

批量分析功能

可根據需求參數定制數據處理和分析模板，針對同類型參數實現*鍵批量分析；

**

數據報表導出

支持****、*****、***格式的數據報表導出功能，支持圖像、輪廓曲線、數值結果的導出；

**

軟件版本

測量和分析部分均為自主開發，提供免費的全分析功能版本離線軟件，支持無限制復制使用

**

光源安全功能：

光源設置無人值守下的自主休眠功能，當檢測到設置的時間內未進行操作時光源會自主進入休眠狀態，防止光源高亮過熱損壞，有效延長光源使用壽命；

**

鏡頭安全功能

★

雙重防撞保護，軟件*****防撞保護，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且下移逼近該位置時伴有報警聲；設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險。?

序號

指標項

重要性

指標要求

關鍵指標理由

*、

基本配置

基本配置

*

技術原理

★

陣列螺旋微孔轉盤共聚焦掃描

*

相機像素:

****×******，≥****像素

*

光源

白光***；

*

物鏡轉塔參數:

? 至少*孔電動物鏡塔臺

*

物鏡配置：

**、**×、***、***（***）、****（***）各*個

*

**位移臺：

行程***×*****，電動控制，配置***°手動旋轉盤

*

*軸行程:

*****，電動控制

*

校準模組：

*μ*臺階高標準塊、超光滑標準塊

*

顯示分辨率：

*.***

**

品牌計算機

圖形工作站*** **，***內存，****固態存儲+**硬盤，*** *******獨立顯卡，**英寸液晶顯示器。

配合學生聯機使用電腦*臺，********塔式（********）*****-**?? 的電腦：**-*****/****(******) ****/****固態 +*** *******/集成顯卡/串口/無光驅，**英寸液晶顯示器

*、

技術規格

技術規格

*

*向掃描范圍

≥****；

*

臺階高度測量精度

≤*%（*μ*臺階高標準塊）；

*

臺階高度測量重復性

≤****（*μ*臺階高標準塊）；

*

寬度測量重復性

≤****

*、

產品功能：

產品功能：

*

影像測量功能

支持在實時視窗上直接進行平面輪廓尺寸的影像測量，點、線間的長度、角度、直徑等參數的測量，支持模板快速測量；

*

單區域自動測量

單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可*鍵實現條紋自動搜索、掃描范圍自動設置、自動測量與自動分析等功能；

*

多區域自動測量

支持****點定位識別，支持以圓形或方形陣列形式設置的數百多個測量點位，支持每個測量區域的分析模板單獨設置或批量設置，支持每個測量區域的掃描范圍自動設置；

*

自動拼接測量；

支持方形、圓形、環形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能，可自定義測量區域，單獨設置每個小區域是否參與拼接測量，每個測量區域均為自動設置掃描范圍，支持數千張圖像的無縫拼接測量；

*

編程測量功能

支持測量和分析同界面操作的軟件模塊，可預先配置數據處理和分析步驟，結合自動測量功能，實現*鍵測量；

*

數據處理功能

提供位置調整、去噪、濾波、提取*大模塊的數據處理功能，其中包含去除指定半徑和曲面方向的球體去除和柱面去除功能；

*

數據分析功能

★

提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等*大分析功能，還包含透明微球壁厚自動分析功能、陣列彈坑深度自動分析功能、非球面系數自動分析功能、絨面陣列金字塔自動統計分析功能、柵線深寬度自動識別分析功能。

*

批量分析功能

可根據需求參數定制數據處理和分析模板，針對同類型參數實現*鍵批量分析；

**

數據報表導出

支持****、*****、***格式的數據報表導出功能，支持圖像、輪廓曲線、數值結果的導出；

**

軟件版本

測量和分析部分均為自主開發，提供免費的全分析功能版本離線軟件，支持無限制復制使用

**

光源安全功能：

光源設置無人值守下的自主休眠功能，當檢測到設置的時間內未進行操作時光源會自主進入休眠狀態，防止光源高亮過熱損壞，有效延長光源使用壽命；

**

鏡頭安全功能

★

雙重防撞保護，軟件*****防撞保護，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且下移逼近該位置時伴有報警聲；設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險。?

序號

指標項

重要性

指標要求

關鍵指標理由

*、

基本配置

基本配置

*

技術原理

★

陣列螺旋微孔轉盤共聚焦掃描

*

相機像素:

****×******，≥****像素

*

光源

白光***；

*

物鏡轉塔參數:

? 至少*孔電動物鏡塔臺

*

物鏡配置：

**、**×、***、***（***）、****（***）各*個

*

**位移臺：

行程***×*****，電動控制，配置***°手動旋轉盤

*

*軸行程:

*****，電動控制

*

校準模組：

*μ*臺階高標準塊、超光滑標準塊

*

顯示分辨率：

*.***

**

品牌計算機

圖形工作站*** **，***內存，****固態存儲+**硬盤，*** *******獨立顯卡，**英寸液晶顯示器。

配合學生聯機使用電腦*臺，********塔式（********）*****-**?? 的電腦：**-*****/****(******) ****/****固態 +*** *******/集成顯卡/串口/無光驅，**英寸液晶顯示器

*、

技術規格

技術規格

*

*向掃描范圍

≥****；

*

臺階高度測量精度

≤*%（*μ*臺階高標準塊）；

*

臺階高度測量重復性

≤****（*μ*臺階高標準塊）；

*

寬度測量重復性

≤****

*、

產品功能：

產品功能：

*

影像測量功能

支持在實時視窗上直接進行平面輪廓尺寸的影像測量，點、線間的長度、角度、直徑等參數的測量，支持模板快速測量；

*

單區域自動測量

單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可*鍵實現條紋自動搜索、掃描范圍自動設置、自動測量與自動分析等功能；

*

多區域自動測量

支持****點定位識別，支持以圓形或方形陣列形式設置的數百多個測量點位，支持每個測量區域的分析模板單獨設置或批量設置，支持每個測量區域的掃描范圍自動設置；

*

自動拼接測量；

支持方形、圓形、環形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能，可自定義測量區域，單獨設置每個小區域是否參與拼接測量，每個測量區域均為自動設置掃描范圍，支持數千張圖像的無縫拼接測量；

*

編程測量功能

支持測量和分析同界面操作的軟件模塊，可預先配置數據處理和分析步驟，結合自動測量功能，實現*鍵測量；

*

數據處理功能

提供位置調整、去噪、濾波、提取*大模塊的數據處理功能，其中包含去除指定半徑和曲面方向的球體去除和柱面去除功能；

*

數據分析功能

★

提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等*大分析功能，還包含透明微球壁厚自動分析功能、陣列彈坑深度自動分析功能、非球面系數自動分析功能、絨面陣列金字塔自動統計分析功能、柵線深寬度自動識別分析功能。

*

批量分析功能

可根據需求參數定制數據處理和分析模板，針對同類型參數實現*鍵批量分析；

**

數據報表導出

支持****、*****、***格式的數據報表導出功能，支持圖像、輪廓曲線、數值結果的導出；

**

軟件版本

測量和分析部分均為自主開發，提供免費的全分析功能版本離線軟件，支持無限制復制使用

**

光源安全功能：

光源設置無人值守下的自主休眠功能，當檢測到設置的時間內未進行操作時光源會自主進入休眠狀態，防止光源高亮過熱損壞，有效延長光源使用壽命；

**

鏡頭安全功能

★

雙重防撞保護，軟件*****防撞保護，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且下移逼近該位置時伴有報警聲；設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險。?

序號

指標項

重要性

指標要求

關鍵指標理由

*、

基本配置

基本配置

*

技術原理

★

陣列螺旋微孔轉盤共聚焦掃描

*

相機像素:

****×******，≥****像素

*

光源

白光***；

*

物鏡轉塔參數:

? 至少*孔電動物鏡塔臺

*

物鏡配置：

**、**×、***、***（***）、****（***）各*個

*

**位移臺：

行程***×*****，電動控制，配置***°手動旋轉盤

*

*軸行程:

*****，電動控制

*

校準模組：

*μ*臺階高標準塊、超光滑標準塊

*

顯示分辨率：

*.***

**

品牌計算機

圖形工作站*** **，***內存，****固態存儲+**硬盤，*** *******獨立顯卡，**英寸液晶顯示器。

配合學生聯機使用電腦*臺，********塔式（********）*****-**?? 的電腦：**-*****/****(******) ****/****固態 +*** *******/集成顯卡/串口/無光驅，**英寸液晶顯示器

*、

技術規格

技術規格

*

*向掃描范圍

≥****；

*

臺階高度測量精度

≤*%（*μ*臺階高標準塊）；

*

臺階高度測量重復性

≤****（*μ*臺階高標準塊）；

*

寬度測量重復性

≤****

*、

產品功能：

產品功能：

*

影像測量功能

支持在實時視窗上直接進行平面輪廓尺寸的影像測量，點、線間的長度、角度、直徑等參數的測量，支持模板快速測量；

*

單區域自動測量

單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可*鍵實現條紋自動搜索、掃描范圍自動設置、自動測量與自動分析等功能；

*

多區域自動測量

支持****點定位識別，支持以圓形或方形陣列形式設置的數百多個測量點位，支持每個測量區域的分析模板單獨設置或批量設置，支持每個測量區域的掃描范圍自動設置；

*

自動拼接測量；

支持方形、圓形、環形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能，可自定義測量區域，單獨設置每個小區域是否參與拼接測量，每個測量區域均為自動設置掃描范圍，支持數千張圖像的無縫拼接測量；

*

編程測量功能

支持測量和分析同界面操作的軟件模塊，可預先配置數據處理和分析步驟，結合自動測量功能，實現*鍵測量；

*

數據處理功能

提供位置調整、去噪、濾波、提取*大模塊的數據處理功能，其中包含去除指定半徑和曲面方向的球體去除和柱面去除功能；

*

數據分析功能

★

提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等*大分析功能，還包含透明微球壁厚自動分析功能、陣列彈坑深度自動分析功能、非球面系數自動分析功能、絨面陣列金字塔自動統計分析功能、柵線深寬度自動識別分析功能。

*

批量分析功能

可根據需求參數定制數據處理和分析模板，針對同類型參數實現*鍵批量分析；

**

數據報表導出

支持****、*****、***格式的數據報表導出功能，支持圖像、輪廓曲線、數值結果的導出；

**

軟件版本

測量和分析部分均為自主開發，提供免費的全分析功能版本離線軟件，支持無限制復制使用

**

光源安全功能：

光源設置無人值守下的自主休眠功能，當檢測到設置的時間內未進行操作時光源會自主進入休眠狀態，防止光源高亮過熱損壞，有效延長光源使用壽命；

**

鏡頭安全功能

★

雙重防撞保護，軟件*****防撞保護，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且下移逼近該位置時伴有報警聲；設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險。?