*、項目名稱：有機功能材料光電器件制備系統

*、招標編號：********

*、招標人：蘇州大學采購與招投標管理中心[聯系方式]

地址：江蘇省蘇州市東環路**號凌云樓****室

郵編：******　　　　　　　傳真：****-********

聯系人：丁老師　　　　　　電話：****-********，********

電子郵箱：*****@****.***.**

技術聯系人：俞老師　　　　電話：***********

電子郵箱：***********@****.***.**

*、招標貨物品名、數量及主要性能參數要求

　有機功能材料光電器件制備系統*套

? ?（*）主要技術參數要求

*、整體性能

*）蒸鍍機能夠同時蒸鍍*個器件，并且*輪蒸鍍（*個***）可實現*種不同器件結構的制備；

*）采用*體式機架，控制部分與真空室集成在*起，可整體移動，采用優質進口鋁型材搭建；

*）機架底部安裝支撐腳及腳輪，可隨意推動；也可撐起地腳固定設備。

*、樣品臺

*）可安裝*個尺寸*********的基片托盤，可真空狀態下更換掩膜板，具體**面掩膜圖案結構圖形根據要求定制，圖案可更改；

*）基片盤可旋轉，采用伺服電機驅動，旋轉速度*-**轉/分可調；

*）提供*套掩膜板，圖案根據客戶要求設計，樣片與掩膜板的配合間隙小于*.***；

*）樣片旋轉要求采用磁流體密封，保證密封可靠性；

*）擋板采用磁流體密封，在基片旋轉的任意角度均可擋住或打開，通過軟件控制。

*、蒸發源

*）共**組蒸發源，可兼容蒸鍍金屬和有機材料；源與源之間配有防止交叉污染的防污板；

*）配*套蒸發電源，功率*.***以上，用于蒸發金屬和有機材料，可切換到**組蒸發源中任意*組。蒸發源電源具有恒流和恒壓*種驅動模式，*者可切換。蒸發電源可以通過軟件控制，具體*段或以上升溫過程控制，*段降溫過程控制，也可以手動控制，此外，蒸發電源還可以通過膜厚儀***（閉環控制），自動調節蒸發速率；

*）金屬蒸發源均帶有水冷功能。

*、膜厚測量系統

*）采用石英晶振膜厚儀在線測量膜厚，可以實時測量蒸發的速度和厚度；

*）膜厚儀速率測量顯示精度優于*.***/*，厚度精度優于**；頻率分辨率*.****，可以**機上操作，帶有***環功能，可通過膜厚儀自動控制蒸鍍速率；

*）石英晶振探頭*個，****，采用快速卡扣式結構更換晶振片，避免用螺紋壓緊式結構損壞晶振片，采用****密封結構。

*、蒸發腔體

*）腔體采用******不銹鋼制作，其內部尺寸約為***×***×*****；

*）腔體為方形，有前后*個可完全打開的門，*個為滑動式開啟，用于連接手套箱，*個為旋轉開啟或滑動式開啟，用于維護清理；

*）腔體內表面采用電解拋光處理，表面精糙度小于等于*.*；外表面采用拉絲拋光，表面精糙度小于等于*.*；整體要求美觀，無擦傷及劃痕；

*）腔體漏率：整體漏率優于*×**^-****.*^*/*，保壓**小時，壓強小于****。

*、蒸鍍真空系統

*）極限真空優于：*.*×**^-*****；

*）主泵抽速不低于*****/*，采用低溫泵；

*）前級泵抽速不低于** *^*/*；

*）氣動高真空插板閥，通徑大于等于*****；

*）帶有旁抽式結構，可不停主泵開啟真空室。相關的閥門操作具體互鎖保護功能，防止誤操作；

*）腔體充氮氣，從大氣抽至****-*****的時間要求小于**分鐘。

*、蒸鍍軟件控制系統

*）采用***+**機控制模式；

*）真空系統的控制分為手動和自動*種模式。自動模式下，根據腔內壓強自動執行相關泵、閥的啟閉；

*）帶有膜厚測量軟件，可通過計算機完成膜厚儀的相關操作；

*）帶有蒸發電源控制模塊，通過軟件完成蒸發電源的自動升溫、降溫，也可手動輸入控制數據；

*）帶有伺服控制模塊，可完成旋轉速度，旋轉角度，定位角度的控制；可完成更換掩膜板的操作。

*、惰性氣體環境系統

*）不銹鋼箱體，箱體整體尺寸為長度≤******、深度≤*****、高度≤*****），材質為******不銹鋼，厚度***；

*）視窗與箱體之間采用專業無泄漏雙層密封技術，能有效阻擋空氣中的*_**、*_*、*_*分子擴散入手套箱和有毒分子擴散出手套箱，達到無泄漏效果（提供相關證明文件）；

*）配有凈化材料吸附飽和后可再生裝置（提供相應的證明文件）；

*）為節省能耗，循環風機功率小于***^*/*，無需增加變頻器及冷水機。手套箱具有自動循環與手動循環兩種模式，超低能耗，大部分時間能耗小于***；

*）水、氧含量：*_**﹤****，*_*﹤****（***顯示屏需顯示實際水氧含量，顯示屏上數值需精確到小數點后兩位，而且水含量數值能在***顯示屏上隨時切換成箱體內實測露點值）；

*)氧分析儀：采用知名品牌傳感器，材質為電化學燃料電池，不接受氧化鋯材質探頭，量程：*-*******。精度：*.****或量程的*%。氧分析儀需要自帶數顯功能（提供相關技術證明文件）；

*)水分析儀/露點儀：采用知名品牌傳感器，材質為氧化鋁膜探測器，量程：-***℃到**℃（露點）或者量程：*-********，精度：*℃（產品宣傳冊需有相關證明文件支撐）。

*、點膠機

*）動作范圍：最大滿足******* 蓋板涂膠范圍；滿足*.***～*.*** 厚度玻璃蓋板或者帶**** 蓋板涂膠；

*）反復定位精度：&**;±**&**;

*）***** 平坦度：&**;±**&**;

*）治具：定制化（可放置* 片*********基片,可磁力吸附壓合的點膠治具）。

**、驗收、培訓及服務

*）負責鍍膜系統與惰性氣體環境系統的對接和調試；

*）提供設備的操作培訓；

*）提供設備的常見問題處理培訓，日常維護保養培訓；

*）提供樣機蒸鍍工藝培訓，要求有專業的蒸鍍工藝人員現場培訓，包括有蒸鍍技巧，共蒸發注意事項，摻雜蒸發技巧，常見有機材料選用注意事項等，并提供設備樣機試用時的有機及金屬材料，同時對各項指標進行驗收，若不能滿足用戶實驗需求，用戶可退貨；同時中標人還需要承擔因此帶來的*切損失和后果。

設備驗收時采用的試機器件結構：***-**(** **)/***(** **)/***(** **)/***(* **)/**(*** **)

需要達到最低器件性能：@電流密度* **/**^*，電壓*.* *，*.* **/*，*.* **/*，色坐標（*.**,*.**），波峰*** **。

**、其他伴隨服務

*）提供備用配件*套（含腔體密封圈、墊片等耗材）、使用手冊、說明書、維修手冊，標準工藝手冊等各*套。

*）質保期不少于*年，腔體內襯板免費清洗每年*次，軟件終身免費升級。

*、評分標準

本次招標采用綜合評分法，總分為***分，具體內容如下：

（*）技術參數、配置及整體綜合性能分（**分）

*．技術參數及配置（**分）

投標人需提供反映該產品技術參數的測試報告或產品說明書等作為評標依據，否則視為偏離。

（*）所投標產品多項參數偏離招標要求，或參數偏離超出用戶教學、科研可接受范圍的，經評標委員會評審可作為無效投標。

（*）所投產品不滿足招標文件技術條款要求的（偏離）、配置不詳、技術參數不清或缺漏項的，每處扣*分。

*．綜合性能情況（**分）

（*）所投產品性能參數優于招標文件中技術條款要求情況（評委會認為超出指標有意義的）（*分）。其中優于項，每處加*分。

（*）所投產品的市場反饋情況（**分）。根據所投產品的品牌影響力、市場占有率（同行業為主）、現有用戶的反饋情況、使用投標產品發表的學術論文情況等綜合評定。

（*）價格分（**分）

*．評標基準價：滿足招標文件要求且投標價格最低的投標報價為評標基準價，評標基準價為滿分**分；

*．其他投標供應商的投標報價得分按照下列公式計算：投標報價得分＝（評標基準價／投標報價）×**分。

（*）綜合商務（**分）

*．投標人綜合實力（*分）

根據投標人綜合實力評定。

*．售后服務與培訓情況等（**分）

（*）質保期（*分）。符合招標文件要求的，得*分，每增加*年質保期加*分。

（*）服務、技術支持與培訓承諾情況（*分）。

根據投標文件的相關承諾，在服務網點設置情況、服務響應時間、現有用戶對產品售后服務情況及服務水平的反饋等綜合評定。

*．其它（*分）

（*）投標文件質量（*分）。根據投標文件的規范性、完整性等情況綜合評定。

（*）其它優惠措施等（*分）。根據投標人提供的在招標文件要求范圍以外，評標委員會認可的優惠措施綜合評定。

*、本次招標采用*次性報價。報價應包括所報儀器設備費、安裝調試費、測試驗收費、培訓費、運行維護費、稅金（含美國產品被加征關稅）、國際國內運輸費、保險和其他為完成本項目所發生的*切費用。

*、投標文件的組成

（*）投標文件*

*、投標函

*、投標報價表

*、詳細配置及分項報價清單

（*）投標文件*（文件中不得出現所投產品報價及配置分項報價，否則作廢標處理）

*、投標基本情況*覽表

*、詳細配置清單、技術規格偏離表和投標儀器設備彩頁

*、技術方案、服務承諾、培訓承諾

*、資格證明文件

特別說明：

*、“投標文件*”和“投標文件*”應分別裝訂和密封，并加蓋投標單位公章

*、“投標文件*”，正本*份，副本*份

　　“投標文件*”，正本*份，副本*份

*、相關材料及填寫規范按照第*條“投標文件”中的具體要求執行

*、貨物交貨期、交貨地點、付款方式、安裝、調試、驗收以及售后服務等相關商務要求，按照第**條中的要求執行。

*、招標文件價格：人民幣***元（相關繳納事宜詳見*），售后不退。

*、各投標人在投標前，須認真閱讀和本招標公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在****年*月**日**：**前將報名函（格式見*）發送郵件至采購人處（*****@****.***.**）；未在蘇州大學供應商庫(****://****.****.***.**)注冊的供應商，請在遞交招標文件前完成注冊。

**、遞交投標文件相關事宜：

（*）順豐快遞郵寄方式（建議優先采用）

*. 寄達時間：****年*月*日*：**前；

*. 收件人信息：

收件人：丁悅

聯系方式：***********

收件地址：江蘇省蘇州市東環路**號蘇大東校區（采購與招投標管理中心）

（*）現場遞交方式

*. 遞交時間：****年*月*日*:**～*：**

*. 遞交地點：江蘇省蘇州市東環路**號蘇州大學東校區東大門

**、投標截止時間：****年*月*日*：**。

**、開標時間：****年*月*日*：**。

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