品牌：格微

型號：***-****

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產地：

*.采用平面磁控濺射靶頭進行靶材濺射，以確保工作過程樣品不會發生熱損傷； *.*英寸觸摸式液晶顯示屏，分辨率為***×***，全數字顯示。 *.* 可設定：（*）濺射電流；（*）濺射時間；（*）靶材種類；（*）工作真空度；（*）工作氣體；（*）屏幕亮度等； *.* 可顯示：（*）濺射電流；（*）濺射剩余時間；（*）工作真空度；（*）靶材累計使用時間；（*）設備累計使用時間等參數。 *.濺射電流：*-****連續可調，最小步長為***； *.濺射時長：*-****連續可調，最小步長為** *.濺射真空：*-****連續可調，最小步長為*.*** *.濺射靶材：標配為高純**靶（純度***），規格為φ**×*.***； *.真空室：采用高透光性的高硅硼玻璃，尺寸約為φ***×*****； *.真空測量：采用皮拉尼真空規作為真空測量元件； *.樣品杯：可容納最大樣品杯尺寸為φ****， **.系統提供金、鉑對于空氣和氬氣的工作參數，可直接使用。同時提供*種自定義靶材，用戶可根據自己需求設定工作參數； **.*鍵操作：設定濺射電流和時間后，系統自動執行抽氣、真空調節、濺射鍍膜、停止鍍膜、破真空等工作； **.具備暫停功能，可在任何狀態暫停*鍵操作的工作流程； **.具備濺射電流和真空度雙重互鎖，安全可靠，任*條件觸發，系統即可停止工作，防止因為誤操作導致設備損壞； **.極限真空優于***，真空泵抽速為*.**/*； **.具備實時曲線顯示濺射電流和真空度功能非常方便用戶了解系統工作狀態； **.采用獨特的靶材更換結構，無需任何工具，即可實現快速更換靶材； **.采用上翻式濺射靶頭，并具備鉸鏈懸停機構，可在任意位置實現懸停，以避免磕傷玻璃； **.具備*色狀態指示燈，可以通過燈光傳遞儀器的工作過程。

按行業標準提供服務

數量：* (*)

單價：*****.**(人民幣)

*****.**(人民幣)