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比比招標網(wǎng)> 中標公告 > 高真空多靶磁控濺射鍍膜機
| 更新時間 | 2025-12-23 | 招標單位 | 我要查看 |
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| 申購單主題： | 高真空多靶磁控濺射鍍膜機 | 申購單位： | 中法核工程與技術(shù)學院 | ||||
| 申購備注： | |||||||
| 設(shè)備名稱 | 品牌 | 型號 | 數(shù)量 | 報價類型 | 售后服務(wù) | ||
| 高真空多靶磁控濺射鍍膜機 | 泰科諾 | ****** | * | 國內(nèi)含稅價/人民幣 | |||
| 規(guī)格 | *.真空腔室：Ф***×******，******優(yōu)質(zhì)不銹鋼，前開門結(jié)構(gòu)； *.真空系統(tǒng)：分子泵（*****/*）+直聯(lián)旋片泵（**/*）+高真空閥門組合的高真空系統(tǒng)，數(shù)顯復合真空計； *.真空極限：*.*×**-***（空載，經(jīng)烘烤除氣后）； *. 漏率：設(shè)備升壓率≤*.***/*；設(shè)備保壓：停泵**小時候后，真空≤****； *. 抽速：從大氣抽至*.*×**-***≤*****； *. 基片臺：Φ*****范圍內(nèi)可裝卡各種規(guī)格基片，基片旋轉(zhuǎn)：*～**轉(zhuǎn)/分鐘；加熱:室溫～***±*℃，可控可調(diào)，日本島電***智能溫控閉環(huán)控溫； *.濺射系統(tǒng)：配*套*英寸永磁共焦磁控濺射靶（濺射靶角度、高度可調(diào)節(jié)）；配獨立擋板，配***直流脈沖電源*臺，配****射頻電源*套；配-*****，功率*****脈沖偏壓電源*臺：采用磁控靶從下向上濺射鍍膜； *.氣路系統(tǒng)；配質(zhì)量流量控制器，氬、氮、氧各*路，配混氣管和截止閥； *.膜厚不均勻性：≤±*%（單靶Φ*****范圍內(nèi)）； **.控制方式：***+觸摸屏人機界面控制系統(tǒng)； **.報警及保護：對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執(zhí)行相應(yīng)保護措施；完善的邏輯程序互鎖保護系統(tǒng)； **．輔助附件：配制冷量*.****冷卻循環(huán)水機和最大流量≥****/***靜音無油空壓機； | ||||||
| 中標供應(yīng)商 | 單價 | 初選理由 | |||||
| 北京泰科諾科技有限公司 | ****** | 最低價原則 | |||||
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業(yè)務(wù)合作：0351-2167156
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