發布公告
| 更新時間 | 2022-06-13 | 招標單位 | 我要查看 |
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| 申購單主題： | 磁控濺射高真空腔體 | 申購單位： | 材料學院 | ||||
| 申購備注： | |||||||
| 設備名稱 | 品牌 | 型號 | 數量 | 報價類型 | 售后服務 | ||
| 磁控濺射高真空腔體 | 鵬城 | 集成*體化柜式結構（***×***×*** **） | * | 國內含稅價/人民幣 | |||
| 規格 | *、要求集成*體化柜式結構 *、材質：真空專用不銹鋼（奧氏體，***）。立式*形前開門，嵌入集成在*體化機柜里，尺寸范圍小于等于***×***×***** *、真空室內外，全部電化學拋光 *、真空室前門安裝*套觀察窗（Ф*****），帶磁力耦合不銹鋼擋板 *、預留兩個金屬密封法蘭接口（****） *、真空獲得系統，要求采用分子泵＋機械泵真空機組。 真空腔體真空指標：極限真空優于*×**-***，恢復工作背景真空*×**-*** **分鐘左右。設備總體漏放率：關機**小時真空度≤****。 *、采用超高真空密封技術：陶瓷金屬焊接技術、刀口無氧銅金屬密封技術等，整機主要采用金屬密封技術，開門部分用氟膠圈，真空管路用不銹鋼金屬波紋管路（不用橡膠管路），采用超高真空閥門。 運動部件的密封，采用磁力耦合傳動密封技術。 真空規用金屬規（不用玻璃規），密封口用刀口金屬密封結構。 *、設備占地面積≤****×***** *、電力系統的檢測與保護： ⑴、開門時或處于開門狀態時，系統自動關閉內電源。 ⑵、整套設備設計安裝強電漏電保護裝置。 ⑶、交流強電供電系統的檢測與報警。 **、設置真空檢測與報警保護功能： **、溫度檢測與報警保護。 **、冷卻循環水系統的壓力檢測和流量檢測與報警保護： ⑴、設置水壓檢測與報警保護裝置。 ⑵、設置水流檢測報警裝置，要求為每*路水冷管路安裝流量計。 ⑶、冷卻水循環：*.***/*；水壓：*.*～*×*****；制冷量：≥****；水溫：**～**℃。 | ||||||
| 中標供應商 | 單價 | 初選理由 | |||||
| *************** | ****** | 最低價原則 | |||||
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