發布公告
| 更新時間 | 2022-12-09 | 招標單位 | 我要查看 |
| 截止時間 | 我要查看 | 招標編號 | 我要查看 |
| 項目名稱 | 我要查看 | 代理機構 | 我要查看 |
| 關鍵信息 | 我要查看 | 招標文件 | 我要查看 |
每天更新 70000 條招標信息
涵蓋超過 1000000 家招標單位
真空磁控濺射設備結果公告
中標信息
| 成交供應商： | *********** |
| 選擇理由： | 總價最低，推薦成交 |
| 質疑投訴說明： | 如有質疑，請在*個工作日內將質疑說明文件（紙質）遞交至招標與采購中心，逾期不予受理。 |
| 項目名稱 | 真空磁控濺射設備 | 項目編號 | ************-**** |
| 項目編號 | ************-**** | ||
| 公告發布日期 | ****/**/** **:** | 報價截止時間 | ****/**/** **:** |
| 報價截止時間 | ****/**/** **:** | ||
| 采購單位 | ****** | 付款條款 | 合同簽訂后預付合同金額的**%，貨到驗收合格后*次性支付剩余款項。 |
| 付款條款 | 合同簽訂后預付合同金額的**%，貨到驗收合格后*次性支付剩余款項。 | ||
| 聯系人 | 中標后在我參與的項目中查看 | 聯系手機 | 中標后在我參與的項目中查看 |
| 聯系手機 | 中標后在我參與的項目中查看 | ||
| 是否本地化服務 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘聯系人 | 踏勘聯系電話 | ||
| 踏勘聯系電話 | |||
| 踏勘地點 | 踏勘聯系時間 | ||
| 踏勘聯系時間 | |||
| 采購預算 | ￥***,***.** | 成交金額 | ￥***,***.** |
| 成交金額 | ￥***,***.** | ||
| 送貨/施工/服務期限 | 合同生效之日起**日內 | ||
| 送貨/施工/服務地址 | 太原市萬柏林區迎澤西大街**號 | ||
采購清單
*
| 采購內容 | 是否進口 | 計量單位 | 采購數量 | 售后服務 | 分項報價 | |
| 真空磁控濺射設備 | 否 | 套 | * | *）所有儀器到達用戶指定地點后，技術工程師在接到用戶安裝調試要求**個工作日內上門免費安裝、調試。； *）質保期為儀器安裝驗收合格后*年，質保期內，所有服務及配件全部免費； *）制造商應終身負責維護維修。在用戶提出維修要求*個工作日內到達現場，及時幫助客戶解決問題，并免費對軟件進行升級； *）供貨商免費提供現場培訓，同時應提供*名（每臺套）廠家培訓中心免費培訓名額。 | ￥***,***.** | |
| 品牌及型號 | 華析 （**-***）泰科諾（******） | |||||
| 技術參數要求 | *.真空磁控濺射設備主要由真空腔室、磁控濺射靶、電源、基片臺、真空系統、氣路系統、***+觸摸屏半自動控制系統等組成。*.真空腔室：*）結構：采用立式、圓柱體、氣缸助力上翻蓋結構；*）材質及尺寸：采用******優質不銹鋼，Ф***×******真空腔室；頂板焊水線；*）腔室底部：*英寸圓形平面靶均勻分布；進氣電磁截止閥；充氣閥；*）腔室頂部：旋轉基片臺；及自動翻蓋機構；*）側部：*****主抽氣口；前方配有*套觀察窗及擋板接口；*）旋轉共濺射基片臺接口位于鍍膜室的頂部；*）預留接口：裝膜厚儀以及其它用途；*）Φ*****觀察窗及擋板，位于前面；*）腔室防污屏蔽板采用優質不銹鋼材質，便于拆卸清理、更換等。*.基片臺：抽屜式結構，基片臺尺寸Φ*****，最大樣品尺寸小于Φ*****：配有氣動基片臺擋板；配備通用夾具，方便用戶裝卡各種不同規格尺寸的基片；絕緣裝置：絕緣設計及絕緣件；基片臺電機驅動：旋轉轉速*～**轉/分鐘，連續可調；主軸磁流體密封；加熱：基片臺環境溫度***℃，采用鎧裝加熱器及絕緣、屏蔽等；采用固態繼電器和***可編程智能溫度控制儀方式，實現加熱溫度自動控制。*.濺射靶及電源：*只*英寸磁控濺射靶，靶角度、靶基距手動可調，永磁間接水冷方式，兼容直流、脈沖、射頻等電源；靶基距調整范圍**～*****，方便調整最佳鍍膜距離；直流脈沖濺射電源***，數字化控制及顯示，*臺；射頻電源******， 數字化控制及顯示，*臺；脈沖偏壓電源：-***，數字化控制及顯示，*臺。*.真空系統：復合分子泵：****-***，抽速****/*；直聯高速旋片式真空泵：***-**，抽速**/*，合資品牌，抽速快，低噪音；前級/旁路閥：****，氣動擋板閥；真空測量：“兩低*高”數顯復合真空計。*.工作氣路系統：質量流量控制器及量程范圍：**，*******；**，******；電磁截止閥：Φ***；混氣管：*進*出。*.氣路系統：電接點壓力表，用于氣體壓力保護報警；氣排，用于各閥門之間分氣使用。*.電氣控制系統：*）采用***+觸摸屏控制系統，可實現自動*鍵式抽真空；*）控制內容：機械泵、前級閥的開與關；分子泵顯示及開關控制；真空計參數顯示及控制；基片臺轉速控制等；*）安全保護報警系統：在缺水、水壓過低情況下的報警系統；完善的邏輯程序互鎖保護系統。*.含低噪音Ⅰ型空壓機*臺；含冷卻循環水機*臺。**.機架控制柜：機架和控制柜*體化設計，碳鋼制作，底下配腳輪，方便移動、定位。 | |||||
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該項目其它公告
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