吉林省匯通招標(biāo)投標(biāo)代理有限公司[聯(lián)系方式]受東北師范大學(xué)[聯(lián)系方式]委托，對(duì)項(xiàng)目編號(hào)為“********-***”的“東北師范大學(xué)[聯(lián)系方式]物理學(xué)院**族材料感應(yīng)耦合離子刻蝕系統(tǒng)采購(gòu)”項(xiàng)目進(jìn)行定向采購(gòu)，本項(xiàng)目已具備采購(gòu)條件，采購(gòu)人為東北師范大學(xué)[聯(lián)系方式]，擬通過(guò)定向邀請(qǐng)意向供應(yīng)商的方式實(shí)施。

*、項(xiàng)目概況：

*.*項(xiàng)目名稱：東北師范大學(xué)[聯(lián)系方式]物理學(xué)院**族材料感應(yīng)耦合離子刻蝕系統(tǒng)采購(gòu)

*.*項(xiàng)目編號(hào)：********-***

*.*采購(gòu)方式：定向采購(gòu)

*.*采購(gòu)預(yù)算：人民幣**萬(wàn)元；

*.*質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)：符合相關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

*.*供貨期：合同簽訂之日起**日內(nèi)完成交付

*.*供貨地點(diǎn)：東北師范大學(xué)[聯(lián)系方式]。

*.*質(zhì)保期：兩年

*、采購(gòu)標(biāo)的及意向：

*.*采購(gòu)標(biāo)的

*.*.*標(biāo)的物名稱及數(shù)量：**族材料感應(yīng)耦合離子刻蝕系統(tǒng)，*（套）

*.*.*品牌及型號(hào)：北京中科泰龍電子技術(shù)有限公司/***-*-***

*.*定向采購(gòu)意向

*.*.*意向供應(yīng)商名稱：北京中科泰龍電子技術(shù)有限公司

*.*.*意向價(jià)格：人民幣**萬(wàn)元

*、定向采購(gòu)方式的原因及相關(guān)說(shuō)明：

物理學(xué)院本次采購(gòu)感應(yīng)耦合離子刻蝕機(jī)，主要用來(lái)刻蝕Ⅲ-Ⅴ族材料，制備Ⅲ-Ⅴ族器件。該設(shè)備具有各向異性強(qiáng)，刻蝕速率穩(wěn)定，材料適用性強(qiáng)等特點(diǎn)。可以為物理學(xué)院紫外光電材料與器件的研究方向提供良好的支撐作用。

根據(jù)調(diào)研，目前國(guó)內(nèi)科研領(lǐng)域的感應(yīng)耦合離子刻蝕機(jī)廠商中，北京中科泰龍電子技術(shù)有限公司具有較強(qiáng)的科研實(shí)力、工藝基礎(chǔ)及制造經(jīng)驗(yàn)。該公司**%以上股份屬于中國(guó)科學(xué)院微電子研究所，其核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)也都是由中國(guó)科學(xué)院微電子研究所人員組成。中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所宋航課題組和中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所肖金龍課題組都在使用該公司設(shè)備，經(jīng)過(guò)工藝優(yōu)化，可以實(shí)現(xiàn)垂直刻蝕，滿足器件需要，實(shí)現(xiàn)Ⅲ-Ⅴ族器件，目前半導(dǎo)體所已有相關(guān)量產(chǎn)產(chǎn)品。我院在異質(zhì)結(jié)刻蝕過(guò)程中要求能夠精準(zhǔn)刻蝕到異質(zhì)結(jié)交界處，因此對(duì)設(shè)備的長(zhǎng)期的穩(wěn)定性要求極高。而該公司已有現(xiàn)成工藝及經(jīng)驗(yàn)保證設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

該公司團(tuán)隊(duì)在針對(duì)性設(shè)備改造也有相當(dāng)豐富的經(jīng)驗(yàn)，例如在針對(duì)性器件制備中，自偏壓對(duì)于器件制備是是個(gè)雙刃劍，如何實(shí)現(xiàn)對(duì)電子損傷的屏蔽并且同時(shí)達(dá)到刻蝕效果的平衡，該公司均具備成熟經(jīng)驗(yàn)，對(duì)未來(lái)物理學(xué)院在新材料、新器件刻蝕中也可起到至關(guān)重要的作用。國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商均不具備這種能力。我院本次擬采購(gòu)的***-*-***感應(yīng)耦合離子刻蝕機(jī)，未來(lái)我院可能會(huì)在此設(shè)備基礎(chǔ)上增加終點(diǎn)刻蝕檢測(cè)設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)異質(zhì)結(jié)的精準(zhǔn)刻蝕，國(guó)內(nèi)能實(shí)現(xiàn)此項(xiàng)功能的廠商除了中科泰龍之外，只有少數(shù)廠家具有這種能力，但是價(jià)格動(dòng)輒數(shù)百萬(wàn)，性價(jià)比較低。經(jīng)過(guò)市場(chǎng)調(diào)研，從設(shè)備的整體配置，運(yùn)行的穩(wěn)定性，將來(lái)的升級(jí)維護(hù)方面，中科泰龍的性價(jià)比較高。該公司目前對(duì)***-*-***感應(yīng)耦合離子刻蝕機(jī)所配射頻電源為深圳恒運(yùn)昌公司生產(chǎn)的*****系列，其射頻團(tuán)隊(duì)技術(shù)來(lái)源于美國(guó)******** ******公司，因此性能上與進(jìn)口電源性能近似，但匹配時(shí)間較進(jìn)口電源慢*秒以內(nèi)，但在國(guó)內(nèi)品牌已屬最好。綜上，北京中科泰龍電子技術(shù)有限公司生產(chǎn)的感應(yīng)耦合離子刻蝕機(jī)是物理學(xué)院開(kāi)展相關(guān)工作研究亟需的，也是其他公司達(dá)不到的，具有唯*性。

綜上，擬通過(guò)定向采購(gòu)方式采購(gòu)*套中科泰龍/***-*-*****族材料感應(yīng)耦合離子刻蝕系統(tǒng)，北京中科泰龍電子技術(shù)有限公司為該設(shè)備的生產(chǎn)廠家，擬確定為定向采購(gòu)談判供應(yīng)商。

*、公示發(fā)布媒介：

本公示在東北師范大學(xué)[聯(lián)系方式]政府采購(gòu)與招標(biāo)管理中心網(wǎng)站發(fā)布。

*、質(zhì)疑要求：

各有關(guān)當(dāng)事人對(duì)本項(xiàng)目有異議的，可以以書(shū)面形式向東北師范大學(xué)[聯(lián)系方式]政府采購(gòu)與招標(biāo)管理中心提出質(zhì)疑，公示日期為****年**月**日至****年**月**日，逾期將不再受理。

*、采購(gòu)人聯(lián)系方式和聯(lián)系電話：

采購(gòu)人：東北師范大學(xué)[聯(lián)系方式]

地 址：吉林省長(zhǎng)春市人民大街****號(hào)

聯(lián)系人：于老師 聯(lián)系電話：****-********

聯(lián)系人（技術(shù)咨詢）：李老師 聯(lián)系電話：***********

采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)：吉林省匯通招標(biāo)投標(biāo)代理有限公司[聯(lián)系方式]

地址：長(zhǎng)春市翔運(yùn)街與振武*胡同交匯西行*米

聯(lián)系人：范女士 聯(lián)系電話：****-********

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