序號

采購品目

技術參數及要求

數量

單位

*

納米壓印光刻

機

*．技術參數

*、曝光面積：不小于* 英寸

*、曝光波長：***~*****

*、分辨力：不大于*.***

*、對準精度：不大于&***;*******.***;

*、★掩模樣片整體運動范圍：*：優于*****:優于****

*、掩模尺寸：*.* 英寸、* 英寸、* 英寸、* 英寸

*、樣片尺寸：直徑Φ****-- Φ*****(各種不規則片)

*、厚度 *.***--***(可擴展為 ****)

*、曝光方式：定時（倒計時方式）或定劑量

**、具備真空接觸曝光、以及接近式曝光等功能

**、照明不均勻性：&***;*******;%（Φ***** 范圍）

**、★雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過***+顯示器對準，光學合像，光學最大倍數***倍，光學+電子放大*** 倍；物鏡*對：* 倍、** 倍、** 倍；目鏡*對：** 倍、** 倍、** 倍

**、數字設定對準間隙和曝光間隙

**、最大焦厚：不低于*****（*** 膠）

**、光源平行性：優于*.* o

**、曝光能量密度：&***;******;/***,照明面溫度&***;****; o

**、★汞燈功率：不低于****（原裝進口汞燈）

**、★具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口，壓印參數為：

（*）壓印分辨力：不高于**** （*） 壓力控制范圍：****-*.****，數字設定壓力大小； （*）壓印面積：不低于Φ****；

**、觸摸屏操作，掩模光刻與納米壓印光刻操作界面獨立，且可隨意切換

**：打印機*臺：黑白激光打印機 多功能*體機打印復印掃描功能。打印速度**頁/分鐘，復印速度**頁/分鐘。掃描分辨率****的***，位深**位。工作負荷：****頁。處理器速度******。

**.真空泵*臺（無油泵）

**.空壓機*臺（靜音泵）

*

*

勻膠機

*、★轉速設置范圍:***轉/分(或更低)～*****轉/分

*、勻膠時間設置范圍:*～****秒

*、轉速穩定度:&***;*******;%

*、膠的均勻性:&***;*******;%

*、額定轉速：********

*、樣片托配備*個。

*、★干泵*臺

*

*

快速退火爐

技術參數：：

*.★額定功率：不低于***

*.★最高溫度：不低于****℃

*.連續工作：***℃（＜*小時）

*.加熱區長度：不低于*****

*.恒溫區長度：不低于*****

*.控溫精度：&***;*******;℃

*.石英管尺寸：不低于φ**

*.滑動距離：不低于*****

*.最大降溫速率：***到***的降溫速度：*****

**.爐膛開啟自動斷電功能，使爐門打開后自動斷電。

**.電爐溫度控制系統采用人工智能調節技術，具有***調節、模糊控制、自整定功能，并可編制各種升降溫程序。

*

*

反應離子刻蝕機

*、★設備選用整體優質航空鋁材精密加工制造而成，內部做特殊陽極氧化處理。腔體尺寸：不小于Φ*********；

*、★刻蝕電極臺：電極臺可自動升降，調整刻蝕距離，調節范圍：**-****,尺寸：不低于Φ*****；

*、 極限真空：≤*.****^-***（

*、 抽氣速率：從大氣抽至*.****^-***時間≤**分鐘

*、 系統漏率：優于*.*****-***&***;*******;/*

*、升壓率：停泵關機**小時后真空度小于***

*、 最大有效刻蝕樣片尺寸：不低于Φ*英寸

*、 *英寸內均勻性：≤&***;*******;%

*、刻蝕速率：**：大于等于******/***

*****生長的****：大于等于*****/***

**、工藝供氣：不低于*路供氣；

**、分子泵*臺，抽速不低于****/*，

**、★自動壓力控制系統*套含進口薄膜真空計

**、★質量流量控制器：不低于*臺，標定氣體：至少包括氧氣、氬氣、***、****；

**、自動控制系統*套，含***模塊、工控機、顯示器控制軟件等；

**、冷卻水系統*套

*

*

擴散爐

*

*

真空烘箱

*、電源電壓：****&***;*********;/**/****

*、輸入功率：*****

*、控溫范圍：室溫+*～***℃

*、波動度：&***;*******;℃

*、達到真空度：*****

*、定時范圍：*～***分鐘

*、★容積：不低于***

*、加熱方式：套式加熱

*、載物托架：不低于*塊

**、★真空泵*臺。

*

*

純水機

*.★系統產水量(**℃)：不低于**升/小時

*.**超純水指標：

*.電阻率：**.***Ω.**@**℃

*.★電導率：*.*****/**@**℃(＜*.***/**)

*.重金屬離子(***)：&***;***.****;

*.總有機碳(***)：&***;*******;

*.細菌：&***;***.****;/**

*.微生物/細菌：&***;******;/**

*.顆粒物(&***;***.*;μ*) ：&***;***;/**

**.**反滲透水指標：

**.***(總固體溶解度,***)：≤進水

***&***;******;%(穩定脫鹽率≥**%)

**.*價離子分離率：**%-**%（使用

新**膜時）

**.有機物分離率：&***;****;%，當**&***;*****;

******

**.顆粒和細菌分離率：&***;****;%

**.★自帶便攜式***測試筆。

*

*

器件自動老化系統

*.★單點溫度穩定性：**～***℃ &***;*******.*;℃/***

*.★最大可控升溫速度：不低于***℃/***

*.最大降溫速度：不低于**℃/***

*.器件檢測電流范圍：*.***-**

*.器件檢測電壓范圍：*.***-***

*.采樣時間：*-***

功能：

*.適應范圍：*極管、*極管、***管、運放等半導體器件

*.數據記錄：自動

*.通信：*****

**.顯示：老化曲線

**.器件最大尺寸：不低于*英寸

**.過程控制：程序設定

**.軟件系統：自動老化控制系統（*******操作系統）

*

*

通風櫥

*.臺面：采用國產不低于**.***厚實芯理化板，鑲邊至不低于**.***厚，耐酸堿、耐腐蝕、易清洗并可抑制細菌；

*.柜體：采用不低于*.***厚冷軋鋼板制作，表面經酸洗磷化處理（注：鋼板進行去油、除銹，使其表面形成*層保護膜，增大上粉率及牢固性）、環氧樹脂噴涂以及烘箱高溫固化；

*.內襯板：采用不低于***厚抗貝特板，具有防水、耐撞擊和易清洗維護等特性；

*.導流板：采用不低于***厚抗貝特板，合理的*段可拆式導流結構，排風集中、高效，使處于不同高度的有毒氣體能夠迅速排放；

*.視窗:采用不低于***鋼化玻璃；

*.地腳:采用鋼制萬向調整腳，具有承重性能好、防震、堅固耐用等特點；

*.開關:采用微電子觸摸式開關； *.照明:兩個熒光燈管，快速啟動類型，**標準。鎮流器安裝在通風柜外部。照明罩內部白色，高反射的塑料材質。照明裝置上面有安全玻璃面板，并且和柜體密封。照明亮度：不低于*********。 *.標準尺寸：不低于*************（長*寬*高）

*

**

實驗用品柜

阻燃更衣柜

材質：鐵質

*門

尺寸：*******************

*人位

*

**

實驗用品柜

阻燃更衣柜

材質：鐵質

*門

尺寸：******************

*人位

*

**

實驗桌椅

單桌尺寸不低于****.**，

板材厚度不低于*.***，

每桌配辦公鐵質網布坐椅*把。

*

**

藥品柜

*、藥品柜（試劑柜）*開門樣式，上部為透明玻璃開門，下部為不透明板門。

*、上部柜內隔層為階梯式或平板式。

*、柜體板：柜體：采用抗強酸堿耐化學藥品，耐沖擊磁白色**板(原裝進口)承制，焊接*體成型，厚度不低于***，抗強酸、化學藥品，耐沖擊，耐腐蝕，不生銹

*

**

服務器

市場常用品牌服務器

***：*顆***** **** *********** **核**線程 主頻*.**

內存：******* ****以上

硬盤：****+**

顯卡：*******-**獨顯

顯示器：**寸

*******系統

滿足有限元仿真應用

*

**

柜機空調

市面常用品牌空調

*級能效；

變頻冷暖；

高溫自清潔；

立式柜機；

*匹 。

*

**

黑白激光打印機

多功能*體機

無線打印復印掃描傳真功能。

黑白打印速度不低于*****，打印分辨率不低于**********。

復印速度不低于*****，復印分辨率：黑白不低于**********；彩色不低于**********。縮放范圍**-***%。掃描分辨率不低于************。掃描速度：黑白不低于****；彩色不低于****。

****直連，無線直接打印功能。

*