比比招標(biāo)網(wǎng)> 政府采購(gòu) > 原子層沉積設(shè)備（HITBX-2022000013）采購(gòu)公告

原子層沉積設(shè)備（HITBX-2022000013）采購(gòu)公告

加入收藏分享文檔打印文檔導(dǎo)出招標(biāo)數(shù)據(jù)導(dǎo)出代購(gòu)招標(biāo)文件代寫(xiě)標(biāo)書(shū)

標(biāo)簽：黑龍江省采購(gòu) 控制精度管路

更新時(shí)間	2022-06-06	招標(biāo)單位	我要查看
截止時(shí)間	我要查看	招標(biāo)編號(hào)	我要查看
項(xiàng)目名稱	我要查看	代理機(jī)構(gòu)	我要查看
關(guān)鍵信息	我要查看	招標(biāo)文件	我要查看

免費(fèi)注冊(cè)會(huì)員即可查看免費(fèi) 招標(biāo)信息

每天更新 15000 條招標(biāo)信息

涵蓋超過(guò) 1000000 家招標(biāo)單位

立即免費(fèi)注冊(cè)

更多優(yōu)勢(shì)服務(wù)：請(qǐng)查看服務(wù)列表

全國(guó)免費(fèi)服務(wù)熱線：400-000-0388

打印公告

原子層沉積設(shè)備（*****-**********）采購(gòu)公告

發(fā)布時(shí)間：****-**-** **:**:**閱讀量：**?次

項(xiàng)目名稱	原子層沉積設(shè)備	項(xiàng)目編號(hào)	***-********
公告開(kāi)始日期	**-- ::	公告截止日期	**-- ::
采購(gòu)單位	哈爾濱工業(yè)大學(xué)[聯(lián)系方式]	付款方式
聯(lián)系人	中標(biāo)后在我參與的項(xiàng)目中查看	聯(lián)系電話	中標(biāo)后在我參與的項(xiàng)目中查看
簽約時(shí)間要求		到貨時(shí)間要求
預(yù)算總價(jià)	￥ ****. + * + *
發(fā)票要求	增值稅普通發(fā)票增值稅專用發(fā)票
含稅要求
送貨要求
安裝要求
收貨地址	黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街*號(hào)明德樓區(qū)
供應(yīng)商資質(zhì)要求	符合《政府采購(gòu)法》第***條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件
公告說(shuō)明

采購(gòu)清單*

采購(gòu)商品	采購(gòu)數(shù)量	計(jì)量單位	所屬分類
原子層沉積設(shè)備	*	臺(tái)	無(wú) 無(wú)

品牌品牌*
型號(hào)
品牌*
型號(hào)
品牌*
型號(hào)
預(yù)算單價(jià)	￥?****.
技術(shù)參數(shù)及配置要求	.腔室：獨(dú)立的內(nèi)外雙腔結(jié)構(gòu)，真空漏率＜×*- *·/；.外腔：真空加熱腔，對(duì)整個(gè)內(nèi)腔進(jìn)行加熱，外層設(shè)置有水冷循環(huán)裝置；內(nèi)側(cè)設(shè)有多層熱反射裝置，提高內(nèi)腔升溫效率，外腔設(shè)置有維護(hù)口，方便打開(kāi)維護(hù)；.內(nèi)腔：可拆卸內(nèi)反應(yīng)腔，負(fù)責(zé)工藝執(zhí)行。需要維護(hù)時(shí)，可直接將整個(gè)內(nèi)腔取下更換維護(hù)。壓差自壓合機(jī)構(gòu)可使內(nèi)腔腔蓋與內(nèi)腔腔體自動(dòng)壓合密封；.內(nèi)腔最大可放置直徑英寸晶圓，內(nèi)腔高度**，標(biāo)配兩套內(nèi)腔，鋁、不銹鋼各套；.反應(yīng)溫度：最高℃（低溫內(nèi)腔℃），溫度控制精度±℃；.標(biāo)準(zhǔn)加熱液態(tài)前驅(qū)體源路，配置******高溫快速閥（響應(yīng)時(shí)間＜*）、手動(dòng)閥、不銹鋼源瓶，源瓶及管路加熱溫度-**℃，控制精度±℃；路常溫源，配置*****快速閥（響應(yīng)時(shí)間＜*）、手動(dòng)閥、不銹鋼源瓶；兩路載氣系統(tǒng)，全套****管路+密封，前驅(qū)體源管路具有在線清洗功能，預(yù)留路臭氧接口；.高性能真空系統(tǒng)，整機(jī)極限真空＜×-**，真空漏率＜×*- *·/，配置高性能防腐油泵，額定抽速＞* */，真空泵前級(jí)配置熱阱，加熱溫度最高**℃，控制精度±℃，用于吸附、分解未反應(yīng)的前驅(qū)體源；配置.進(jìn)口壓力傳感器（真空計(jì)），含個(gè)工藝薄膜規(guī)和套全量程真空規(guī)；真空計(jì)前設(shè)有保護(hù)真空計(jì)的高效過(guò)濾網(wǎng)以及氣動(dòng)隔膜閥；.高精度+工控機(jī)沉積自動(dòng)控制系統(tǒng)，滿足高精度沉積需求；可視化的操作界面，實(shí)時(shí)顯示系統(tǒng)各部分運(yùn)行狀態(tài)，可方便的調(diào)節(jié)溫度、流量、脈沖時(shí)間等參數(shù)，編輯并保存配方參數(shù)；多用戶權(quán)限分配，軟硬件互鎖，異常報(bào)警、緊急停機(jī)等功能確保安全性；沉積模式：連續(xù)模式、停流模式；人機(jī)界面：外掛式觸摸屏，可自由選擇懸停位置；. 用電：**/，至少空氣開(kāi)關(guān).驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)工藝：在英寸晶圓上沉積 *** 循環(huán)氧化鋁，以晶圓上至少 * 個(gè)均勻分散點(diǎn)（上、下、左、右、中心 * 點(diǎn)，每?jī)牲c(diǎn)間距不小于 ** 毫米）進(jìn)行膜厚測(cè)試，膜厚非均勻性≤±%為合格；驗(yàn)收快速沉積工藝：英寸晶圓沉積氧化鋁，最快單****時(shí)間＜秒；
參考鏈接