| *、設備用途 能夠對各種類型的材料樣品表面微觀結構進行高分辨率成像觀察，獲取樣品表面微觀結構形貌信息、成分襯度信息，可以在低電壓下條件下無需鍍膜直接高分辨觀察樣品。配置*射線能譜儀和****，可同時對樣品表面微觀區域內元素成分進行定性、定量分析以及晶體學取向等分析。
*、技術參數 *.* 圖像分辨率： ★*.*.* 高真空*次電子分辨率： ≤*.*** @****，≤*.*** @***（非樣品臺減速模式）； *.* 電子光學系統： *.*.* 發射源：肖特基熱場發射電子槍； ★*.*.* 加速電壓范圍（非著*電壓）不低于： ***～****，*** 步進連續可調； ★*.*.* 最大探針電流不低于 ****，束流穩定性優于*.*%/*； *.*.* 放大倍數：范圍≥**～*,***,****（寶麗來膠片模式）, 可進行粗調和精調兩種調節模式； *.*.* 圖像控制：可自動對工作距離進行補償，具有動態聚焦，聚焦補償功能； ▲*.*.* 工作距離范圍 *.*～****； ▲*.*.* 物鏡光闌：不少于*孔可變光闌，光闌具備自動坐標記憶功能，可通過軟件自動控制光闌孔徑更換，無需手動調節，為電動調節； ▲*.*.* 掃描速度：各種掃描速度不少于 ** 種，駐留時間不低于 **** 到 *.****； *.*.* 掃描方式不少于：全屏、快捷方式、選區、定點方式、線掃描、面掃描、線輪廓、掃描旋轉、傾斜校正； ▲*.*.** 物鏡系統至少包含靜電透鏡和電磁透鏡兩部分，能夠實現物鏡下方無漏磁成像模式，可對各種磁性材料實現近距離高分辨觀察。 *.* 樣品室及樣品臺： ▲*.*.* 樣品室，抽屜式推拉倉門，內部尺：*****（直徑）&***;**********;（高）； *.*.* 樣品臺類型：* 軸優中心馬達驅動樣品臺； ▲*.*.* 樣品臺馬達移動范圍：*****（* 方向），*****（* 方向），****（* 方向），-*～**°（傾斜），***°（旋轉）； *.*.* 樣品臺 ** 重復精度：樣品臺不傾斜條件下 */* 軸移動重復精度≤***； ▲*.*.* 最大樣品尺寸：最大樣品直徑*****（** 平面內可全部觀察到）； *.*.* 樣品座：配置具備導航功能的多孔樣品座； ★*.*.* 配置能夠控制馬達臺 * 個軸向快捷移動的搖桿控制器，配置多功能旋鈕操作控制面板； *.*.* 樣品臺具有接觸報警與自停功能； ▲*.*.* 接口** 個； ★*.*.** 能譜分析工作距離≤ *.***，取出角為 **°。 ★*.* 探測器： *.*.* 高真空樣品室內*次電子探測器； ▲*.*.* 鏡筒內*次電子探測器； *.*.* 樣品室內可抽拉式背散射電子探測器（物理分割區域≥*）； *.*.* 樣品室內彩色 *** 相機； ▲*.*.* 信號混合：任何兩個探測器輸入的信號能夠以任何比例被混合，以增強圖像信息； *.*.* 控制：手動、自動調節亮度和對比度控制； *.* 圖像顯示與處理與軟件功能： ▲*.*.* 標準模式下無需拼圖，單張圖像最大采集分辨率不低于 ***&***;********; 像素； ▲*.*.* 圖像顯示分辨率不低于 ********* 像素； *.*.* 圖像采集：像素平均、幀平均、幀積分、行平均、行積分、漂移校正幀平均、漂移校正幀積分； *.*.* 顯示方式：全屏顯示、分屏顯示、灰度直方圖、輪廓方式、偽彩色； *.*.* 圖像注釋與數據區：提供標準數據區和定制數據區，可在圖片上顯示各種電鏡參數和字符； *.*.* 狀態菜單：顯示各種工作參數,可在成像后對圖像的亮度，對比度，伽瑪值實現更改； *.*.* 測量功能：可對圖像中的形貌進行點間距、角度、直徑等測量； *.*.* 圖像輸出輸入功能； *.*.*.* 圖像可存儲到操作系統支持的存儲介質或輸出到打印機； ▲*.*.*.* 圖像存儲格式：***、***、***； ▲*.*.* 具備能譜儀 ***** 智能通訊接口，能譜儀軟件可自動獲取主機系統圖像主要技術參數； *.* 真空系統： ▲*.*.* 抽真空系統： 渦輪分子泵：*** 立升/秒； 旋轉泵：** 立方米/小時，超凈無油泵； 離子泵。 *.*.* 樣品室極限真空度：優于 *&***;*******-***;； ▲*.*.* 抽真空時間：≤* 分鐘； *.*.* 真空系統控制：全自動。 *.* 工作站不低于以下配置： *.*.* 中央處理器：***** **-**** 處理器； *.*.* 內存；**** ****，無***； *.*.* 操作系統：*********? *******? ******； *.*.* ***系統：掃描控制、圖像存儲、圖像處理、探測器控制； *.*.* 外部交換接口；****** *** ***； *.*.* 網絡架構：**/***/**** **** ** ** *****； *.*.* 硬盤：最小** **** 硬盤； *.*.* 光驅：***+/- */**。 *.* 其他配件： *.*.* 配置靜音閉路冷卻水系統，用于冷卻鏡筒或其它部件； *.*.* 配置無油空氣壓縮機； *.*.* 配置不間斷穩壓電源。
*、能譜儀 ★*.*探測器：分析型***硅漂移電制冷探測器，有效面積不低于******，高分子超薄窗設計。封閉式真空系統，無需借助***抽放真空。 ★*.*能量分辨率：** **保證優于*****（@計數率***,******）； * ** 保證優于****（@計數率***,******）； * ** 保證優于****（@計數率***,******）； 保證符合*** *****:****標準。 ▲*.*元素分析范圍：***～****。 *.*探測器可軟件控制自動伸縮。 ▲*.*具備元素譜圖及面分布實時刷新顯示功能：在樣品臺靜止狀態、移動及改變放大倍數時，均可實時顯示電子圖像、元素譜圖、不同元素分布以及它們的疊加圖。樣品停止移動時，自動開啟面分布圖靜態采集模式，得到更高清晰度的面分布圖。可利用軟件控制樣品臺移動及改變放大倍數。 *.*可記錄樣品預覽過的位置，以便隨時返回重新分析。并具備元素追蹤功能，顯示經過位置的不同元素含量變化。 *.*具備*峰修正功能，開機后無需重新修正峰位。 ▲*.*電子圖像分辨率≥*********像素；元素面分布圖分辨率≥*********像素；可在電子圖像上疊加元素分布圖；可從面分布圖上進行點、線譜圖重建。 *.*定性分析：可自動標識譜峰，可進行譜重構。 ★*.**具備***全譜線系數據庫，配置****及***高低電壓定量數據庫，可覆蓋不同電壓下的定量分析。同時，用戶可利用微束分析標樣建立相應元素的數據庫，進行有標樣定量分析。
*、**** ★*.*高速低噪音****相機，分辨率*********，并能夠與各主流型號的電鏡良好配合； ★*.*****在線解析最高標定速度不低于*******，此時花樣分辨率仍能保持為*******； *.*取向精度≥*.**度； *.*采用專門定制的光纖傳導系統，光通量遠大于透鏡模組，特別適合弱信號分析； ★*.*專門設計的探頭仰角自動調節馬達，在探測器完全深入狀態下，探測器*軸可通過軟件在+/-**.* **范圍內任意調整，而無需重新校準即可連續采集****數據； *.*配有獨立的操作手柄，能夠實時顯示探頭位置，可選擇直達指定位置或者步進模式控制探頭就位； ★*.*采用主動式防碰撞傳感器設計，在碰撞發生前探測器自動預警并后撤，起到保護****作用； *.*探測器插入退出，最快速度：****/*，精度：≤**μ*； *.*軟件配置 *.*.*操作軟件采用多任務設計，可以同時并行數個任務，并支持分屏顯示及遠程控制； *.*.* 操作軟件完全與能譜儀軟件*體化，可根據能譜數據對****花樣進行預過濾，實現對未知相的相鑒定，實現能譜****同時聯機分析且不降速； *.*.* 電子圖像分辨率≥*********，****面分布圖分辨率≥*********； ★*.*.* 動態自動背景扣除技術，探測器參數自動優化。切換樣品、更換分析位置、以及****探測器伸縮、傾轉后均無需重新扣除背景或重新優化； *.*.* 能對所有對稱性（從*斜到立方）晶體材料的****花樣進行自動化的標定，且各相的反射面可以獨立選擇，并可以進行帶寬修正，也可以對衍射帶邊緣及中間進行標定； *.*.* 配置自有數據庫及****海量晶體學數據庫，數據容量不小于*萬種； *.*.* 采用最優化的*****變換，多條帶標定方法（最多可以用**條菊池帶進行標定），根據平均角度偏差***結構因子進行完全自動化的菊池帶識別和花樣標定； *.*.* 配有專用的高精度標定模式，實現更高角度分辨率的標定； ▲*.*.* 配有**位****數據后處理軟件包，和采集軟件同*風格，支持**種語言界面，可處理包含多至****萬像素的單個文件，包含且不限于如下功能： （*）數據修飾； （*）晶粒統計（尺寸、形態等）； （*）晶界分析（特殊晶界、孿晶、***界面等、相鄰及隨機取向差曲線及其相似性分析等）； （*）應變分析（***，***，****，***等）； （*）極圖和反極圖； （*）校準****分析時由于漂移導致的與電子圖像產生的失真；
*、產品配置 為達到上述技術指標，產品應配置必要的硬、軟件，產品不低于以下配置： *.* 高分辨場發射掃描電子顯微鏡*套； *.* 高真空樣品室內*次電子探測器*套； *.* 鏡筒內*次電子探測器*套； *.* 樣品室內可抽拉式背散射電子探測器（物理分割區域≥*）*套； *.* 樣品室內彩色 *** 相機*套； *.*搖桿控制器及多功能旋鈕操作控制面板*套； *.*原裝空氣壓縮機和冷卻循環水系統各*套； *.*不間斷穩壓電源*套，整機運行續航時間不低于*小時； *.* 能譜儀*套； *.** *****套； *.**配有專用***樣品臺*個及****專業離線數據處理軟件*套； *.** 離子濺射儀*套； *.**原廠燈絲光闌*套（含安裝調試） *.**導電膠帶*卷，導電膠*瓶，鑷子*個，樣品盒*個等； *.**振動拋光機*臺 *.**高純氮氣*瓶，氮氣減壓閥*個，空氣開關*個，大孔插排*個，純凈水*桶。 | 
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