遼寧寶業工程造價咨詢有限公司[聯系方式]受大連理工大學[聯系方式] 委托，根據《中華人民共和國政府采購法》等有關規定，現對大連理工大學[聯系方式]大尺寸磁控濺射表面處理儀器采購項目進行其他招標，歡迎合格的供應商前來投標。

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項目名稱：大連理工大學[聯系方式]大尺寸磁控濺射表面處理儀器采購項目

項目編號：******-*******

項目聯系方式：

項目聯系人：關素婷

項目聯系電話：****-********

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采購單位聯系方式：

采購單位：大連理工大學[聯系方式]

采購單位地址：遼寧省大連市高新園區凌工路*號

采購單位聯系方式：李老師/孫老師；****-********/********

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代理機構聯系方式：

代理機構：遼寧寶業工程造價咨詢有限公司[聯系方式]

代理機構聯系人：關素婷****-********

代理機構地址： 大連市西崗區民權街***號

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*、采購項目內容

擬采購貨物*******-***-***型號大尺寸磁控濺射表面處理儀器*套，主要由真空室、抽氣系統、真空測量系統、操控系統、工藝氣體供給系統、工件加熱系統、工件驅動及夾具系統、直流脈沖偏壓電源、磁控濺射陰極、中頻磁控濺射電源、脈沖離子束源、脈沖離子束電源、圓形陰極弧源、陰極弧電源、冷卻水配水系統等組成。

? ? ? *******-***-***型儀器的單腔極限真空度可達*.****^-***，可在尺寸為φ*****的基片上，利用陽極層離子束技術、非平衡磁控濺射技術和陰極電弧技術的單個模式或者聯合沉積模式工作，在成膜溫度低至***℃的條件下，沉積含氫/不含氫多層超厚類金剛石薄膜、***薄膜等。可用于運載火箭閥門金屬基底耐磨耐壓、高速飛行器陶瓷基底耐高溫沖蝕等功能結構表面制備方向的研究工作。

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*、開標時間：****年**月**日 **:**

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*、其它補充事宜

*.擬定的唯*供應商名稱及其地址：

供應商名稱：(蘇州)股份有限公司

供應商地址：江蘇省蘇州市工業園區唯亭星華產業園*#廠房

*.單*來源采購原因及相關說明：

? ? ? ?大連理工大學[聯系方式]精密與特種加工教育部重點實驗室擬開展高端裝備功能結構表面設計、制備及性能方面的研究，研究不同類型的金屬薄膜或類金剛石薄膜制備工藝對其極端工況服役性能的影響規律，以制備出可滿足廣泛需求的功能薄膜，從而提升重大裝備關鍵構件的表面性能，可用于運載火箭閥門金屬基底的表面耐磨耐壓、高速飛行器陶瓷表面的耐高溫沖蝕等方向研究。基于該項目研究內容，需采購多功能低溫沉積表面處理儀器。該設備采用刻蝕離子源+輔助陽極的專利技術，對工件表面進行等離子轟擊清洗，單個離子源刻蝕電流不低于***，輔助陽極電流不低于***，刻蝕速率最高能達到*.*μ*/*，滿足中溫和高溫回火工件的離子清洗需求；具有混合低溫離子清洗功能，滿足溫度敏感工件的刻蝕需求；基片成膜溫度低至***°*，基片熱變形小、膜基間內應力小、結合力強，是目前國內唯*能夠制備超厚類金剛石薄膜的廠商。經調研，某表面技術有限公司生產的******高能脈沖磁控濺射系統和某國際技術有限公司生產的臺式高質量多功能薄膜磁控濺射系統的基片成膜溫度為***°*，易使溫度敏感材料產生較大熱形變，材料表面難以制備高性能薄膜，且這些設備制膜方式單*、極限真空度不高，無法利用已有設備開展研究。而(蘇州)股份有限公司可以在低至***°*的溫度下，制備內應力小、結合強度高的薄膜。因此，只有星弧涂層新材料科技(蘇州)股份有限公司的*******-***-***型產品能夠滿足本項目技術要求的需要，只能采用單*來源采購方式進行采購。

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*、預算金額：

預算金額：***.******* 萬元（人民幣）

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