*、流量控制通道數量：*路。 *、分離柱：采用耐高溫不銹鋼材質精制，φ*×*****； *、反應爐：最高使用溫度**-***℃， 耐壓：****；功率**** *、預熱器：****不銹鋼，φ***×*****；加熱功率*.****。 *、氣液分離器：****不銹鋼，φ**×*****。 *、溫控器：**智能溫控溫可實現多段編程、內置功率調整器控制，控溫精度±*.*℃。 *、流量控制方式: 高精度流量顯示儀 *-** 模擬量控制。 *、流量控制精度：＜±*%*.* *、濕度范圍 （**） :*%-**%相對（非冷凝） **、外形尺寸（**）: ************* **、開機預熱時間（***）: **-** **、組成部件：質量流量控制器*: ***-*** ******* 氮氣 */*雙卡套 *臺 質量流量控制器*: ***-*** ******* *氟甲烷 */*雙卡套 *臺 質量流量控制器*: ***-*** ******* *氟乙烷 */*雙卡套 *臺 質量流量計 ***-**** ******* */*雙卡套 *臺 ***-**顯示儀：*臺，機柜：*臺 直通球閥：*個，單向閥：*個 *通球閥：*個，混氣罐：*個 *通接頭:*個 加熱爐：*臺，溫控箱：*臺，過濾器：*個，壓力表*個，不銹鋼管路***。 背壓閥：*個 **、電源：**** ****

按行業標準提供服務 *、廠家將按照本采購項目特點提供長期良好的售后服務。 *、廠家提供自驗收合格之日起*年免費質保(易損件除外)，軟件終身免費升級服務，保修期間提供*切免費維修服務，終身售后服務，保修期滿后廠家將提供終身有償維修服務、技術支持及定期巡檢。 *、接到故障報告后，廠家將在*小時內快速響應，**小時內解決問題或者提出解決方案。質保期內，如設備因產品自身瑕疵引起的故障，廠家將負責免費維修。 *、廠家將提供遠程技術服務支持，以最快、最優的方式為客戶解決問題 *、廠家將長期提供良好的技術支持及備品備件的優惠供應。 *、廠家將提供由多名具有多年經驗的高級工程師和項目經理共同組成的售后服務團隊，提供最優質的售后服務。