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比比招標網> 政府采購 > 桌面式原子層沉積系統（JJ2024000015）采購公告
| 更新時間 | 2024-05-14 | 招標單位 | 我要查看 |
| 截止時間 | 我要查看 | 招標編號 | 我要查看 |
| 項目名稱 | 我要查看 | 代理機構 | 我要查看 |
| 關鍵信息 | 我要查看 | 招標文件 | 我要查看 |
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桌面式原子層沉積系統（************）采購公告
| 項目名稱 | 桌面式原子層沉積系統 | 項目編號 | ************ |
|---|---|---|---|
| 公告開始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采購單位 | 清源創新實驗室(中國福建化學工程科學與技術創新實驗室) | 付款方式 | 憑初步驗收材料和正式發票支付**%合同款，正常運行*年后待全部貨物最終驗收合格付清剩余**%合同款。 |
| 聯系人 | 成交后在我參與的項目中查看 | 聯系電話 | 成交后在我參與的項目中查看 |
| 簽約時間要求 | 成交后*個工作日內 | 到貨時間要求 | 簽約后**個工作日內 |
| 預算總價 | ￥ ******.** + *** + *** | ||
| 發票要求 | 增值稅普通發票 增值稅專用發票 | ||
| 含稅要求 | |||
| 送貨要求 | |||
| 安裝要求 | |||
| 收貨地址 | 清源創新實驗室，具體以我方指定的地點為準 | ||
| 供應商資質要求 | 符合《政府采購法》第***條規定的供應商基本條件 | ||
| 公告說明 | |||
| 采購商品 | 采購數量 | 計量單位 | 所屬分類 |
|---|---|---|---|
| 桌面式原子層沉積系統 | * | 套 | 真空應用設備 無 無 |
| 品牌 品牌* | 無 |
|---|---|
| 型號 | 無 |
| 品牌* | |
| 型號 | |
| 品牌* | |
| 型號 | |
| 品牌* | |
| 型號 | |
| 品牌* | |
| 型號 | |
| 品牌* | |
| 型號 | |
| 預算單價 | ￥?******.** |
| 技術參數及配置要求 | ★*. 尺寸：長*****×寬*****×高*****±*%；工藝溫度≥***℃；成膜不均勻性：≤±*%（不低于*英寸*****沉積氧化鈦薄膜）*.前驅體源：配備* 個單管式****前驅體源，*條清掃氣線；源瓶：配備*個單管式****前驅體源（含）*個。*.源瓶加熱器：配備*個***℃單管加熱器，精度：***±* **。★*.采用抽屜式樣品裝載，*寸***** ；配備粉末樣品處理裝置，實現晶圓及粉末式***，*機兩用。★*.腔體采用真空腔體，配備高溫鋁腔溫度≥***℃，溫度控制精度≤±* **。★*.包括多組毫秒級***閥門，氧化管路采用雙閥門設計，保證源進氣量的穩定性。采用自動化加熱，加熱溫度≥*** **。*.氣體質量流量計：*個精確的載氣流量控制，氬氣最大量程*******；真空規：薄膜真空規，實時顯示工藝壓力,標準******電容薄膜。真空泵：****/* 飛越油泵，含泵前段返油過濾器，泵后端油霧過濾器 ；反應腔抽真空時間:***；腔體襯板：提高腔體使用壽命，便于維護清洗，減少********脫落。需配備*體式工控機，屏幕尺寸大于**英寸，帶觸摸功能；軟件功能：配備行業標準多個***界面，用于自動和手動操作，系統監視器，報警和配方編輯，工藝菜單編輯功能，簡易工步預設格式，多工藝菜單存儲等功能。 |
| 參考鏈接 | |
| 售后服務 | 商品承諾:原廠全新未拆封正品商品承諾:送貨上門/安裝調試/技術培訓 |
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