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行業標準提供售后服務；遠程視頻、電話等方式指導

*插槽主機，具有內置**/*位數字萬用表和*種開關及控制插入式模塊，可以測量和轉換**種不同的輸入信號

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等離子參數配置： *、型號：*** ****** *、腔體材質：不銹鋼表面處理 *、電源：** **** *、工作電流：整機工作電流不大于 **（含真空泵） 工作功率：整機工作功率不大于 ****（含真空泵） *、*清洗功率：**-**** 連續可調（全智能觸屏操作界面） *、頻率：***** *、頻率偏移量：小于 *.**** *、特性阻抗：** 歐姆，自動匹配 *、腔內壓力：****-****** **、*氣體路數：高精密 * 路浮子流量計，采用 * 路氣體設計，可單獨或混合 *-* 種氣體清洗 **、氣體流量：**-*****/***（可調） **、過程控制：全自動控制與手動（*** 人機界面） **、清洗時間：*-*** 秒鐘可調 **、內腔尺寸：?*********** **、外形尺寸：***************** **、重量：**** **、真空泵 抽速 **/* **、真空室溫度小于 ** ℃ **、冷卻方式：強制風冷 **、主機*臺、真空泵*臺、真空泵連接管*根、油污過濾器*個、說明書*本

行業標準提供售后服務； *、質保*年：長達*年的品質保證。 *、備用機服務：提供了備用機服務。設備出現問題需要返廠維修，可以迅速提供*臺備用機，

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