*. 真空泵：高性能旋片泵+金屬油污過濾器 *. 抽速：≥*^*/* *. 極限真空：* ** *. 工作氣壓：*-** **，可恒壓控制 *. 抽真空時間：＜*-**** *. 真空計：皮拉尼真空計 *. 腔體：標配 ?********* 鋁合金腔體（內尺寸：?*********） *.* 金屬腔體自動旋轉偏轉樣品臺：?****可實現自動旋轉偏轉功能，偏轉角度和轉速可數字顯示體現，旋轉轉速：**-*****可調，偏轉角度：±**度可調，靶基距**-****連續可調 ，配備*工位行星臺，最少支持**個釘臺樣品同時噴金制樣 *. 濺射靶材：標配 ? ** * *.*** **靶和**靶各*只 **. 濺射電源：恒功率**濺射電源 ***. ***, ***. *****, *-**** **. 濺射時長：≤**** **. *操作方式：觸摸屏控制，控制系統提供互鎖保護功能，樣品噴金結束可自動保壓 **．*可提供不同類別樣品噴金典型工藝參數 **. 功耗：&***;******。 品牌和型號僅供參考，有符合技術參數的其它產品也可以報名。需提供蓋章掃描件的報價單，注明品牌和型號，是否響應規格參數要求，否則無效

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