*，配置：高精密*維調(diào)節(jié)架，高精密垂直調(diào)節(jié)架，多維度觀(guān)察組件，垂直觀(guān)察組件 *，平面位移行程優(yōu)于****θ*θ*角度移動(dòng)量不小于±*° θ*角度移動(dòng)量≤ ±*°，運(yùn)動(dòng)控制器≥*軸； *，軟件：可以設(shè)置步進(jìn)，點(diǎn)動(dòng)，能夠編輯流程，帶接觸傳感軟件，可以設(shè)置速度； *，芯片臺(tái)：**軸行程≥***， θ*軸中間調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu) 溫控器范圍優(yōu)于***° 壓力傳感精度不大于***/*； *，觀(guān)察鏡頭組： 最大電子放大倍數(shù)不小于**** 含調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)行程≥****

質(zhì)保*年。在質(zhì)保期間出現(xiàn)故障，接收到用戶(hù)通知后于*小時(shí)以?xún)?nèi)予以回應(yīng)、**小時(shí)排除故障（特殊情況和不可抗拒因素除外）。在此期間，設(shè)備發(fā)生任何非誤操作造成的故障和損壞，均由乙方負(fù)責(zé)免費(fèi)修復(fù)，失效*件予以免費(fèi)更換