真空系統(tǒng)，質(zhì)量分析范圍：*-*** ***（原子質(zhì)量單位） 檢測精度：重復(fù)測量結(jié)果的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差優(yōu)于*%（氣標(biāo)） 離子源：密閉式*字形陰極離子源，帶有兩個(gè)陰極絲 脫氣單元：紅外加熱爐最高溫度***°*，具有程序升溫功能，升溫速率控制范圍：*.*～**/* 進(jìn)樣單元：擴(kuò)散氫檢測采用石英樣品管，管內(nèi)徑不小于****, 可滿足對于最大尺寸Ф****×*****的樣品直接進(jìn)行分析 檢測單元：儀器同時(shí)配備高靈敏度熱導(dǎo)檢測器(***)和*極桿質(zhì)譜儀，可在不同的應(yīng)用場景下選擇熱導(dǎo)或質(zhì)譜儀進(jìn)行分析，可通過快速升溫方式獲得總氫結(jié)果，也可通過程序升溫方式獲得氫的熱脫附譜，對材料中的擴(kuò)散氫進(jìn)行檢測和研究 熱導(dǎo)檢測器具有參比通道，精確恒溫于**°*±*.**°*，確保最佳的穩(wěn)定性 載氣：高純**氣體，純度**.*** %，壓力≥* *** 氣標(biāo)校準(zhǔn)單元：具有*種以上不同體積的定量環(huán)，滿足從低含量到高含量校準(zhǔn)要求，并且確保最佳的線性 * 納米近場成像光譜 主要性能指標(biāo)： 儀器具備納米尺度下表面形貌與光譜成像的能力，實(shí)現(xiàn)突破光學(xué)衍射極限的空間分辨率成像，可以實(shí)現(xiàn)** **空間分辨下的化學(xué)成像與光譜采集，從獲得材料在微觀尺度上的結(jié)構(gòu)成分及其分布情況。 電 動(dòng)樣品臺**移動(dòng)范圍：** ** × ** **，重復(fù)性：&***;***** * μ* 最大樣品尺