*

*. *.控制系統 *.手動 *.真空和發生器互鎖功能 *.跟據工藝需求不同，可設定功率、壓強、氣體流量等參數 *.工藝氣路： *.*個浮球流量計（可通多種工藝氣體**、**等非腐蝕性氣體） *.量程分別為*-****** *.*路破真空進氣氣路 *.壓力控制： *.配有指針式壓力計，實時顯示工藝艙的壓力值 *.壓力表量程*.**-*.****** *.發生器： *.頻率*****,功率*~****連續可調 *.自動電阻阻抗匹配 *.具有電流過載保護功能 *.反應腔： *.圓柱形高硼硅玻璃材料，厚度不小于*** *.腔體尺寸：************* *.容積：**.** *.鉸鏈門帶觀察窗 *.雙油式真空泵，排氣速度***/*，極限真空度*.*** *.外尺寸：********************(含電源線突出部分) *.電源電壓：單相****** *** *.配備慢進氣裝置 **.電極外置，***°環繞電極，上下各*層

*.質保期*年