（*） 設計壓力：（*-****） （*）氣路：*路，原料氣*路，吹掃氣*路 （*）氣體管路：****不銹鋼材質，*/*****不銹鋼反應管 （*）氣體控制方式：*套*星華創***-***質量流量計控制，流量控制模塊質量流量計開啟及關閉，響應時間*.**以內，**/*** （*）控制精度：±*% *.*.，控制范圍：*.*%*.*. ~ ***.*%*.*. （*）加熱爐：*套最高溫度***℃；附帶預熱加熱罐及溫控系統和集成定制鼓風干燥箱預熱系統。 （*）加熱爐功率：*.***加熱爐溫度最高達***度 （*）測溫傳感器：***** （*）控溫精度：±*% （**）反應管：高壓片式組件，****材質內徑****壁厚***，內部襯石英管（*根） （**）*套爐后空冷盤管冷凝 （**）裝置氣路和電路外形尺寸：根據客戶要求 （**）閥門管件質量流量控制器：*-***、北京熊川、華丞電子（*星華創） （**）安全機制：裝置設計合理，安全可靠 反應流程：反應氣先經過穿板直通后通過過濾器，而后通過減壓閥控制每個氣路的出氣壓力，通過截止閥控制氣體進氣及關閉，隨后通過質量流量計控制及顯示每路氣體流量，每路氣體在質量流量計后部裝有單向閥，防止各路氣體產生干擾。原料氣流量計設置有支路，對于系統穩定沖壓穩定有*定利處，后進入加熱爐反應，反應溫度*-***℃可控。雙加熱爐系統。

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