*、有效電鍍面積：***** *、采用螺絲固定搭配扭力扳手 *、耐腐蝕塑料+耐腐蝕合金+耐腐蝕橡膠 *、性能維度：（*）機械性能：外形尺寸：掛具的長，寬，高 具體尺寸公差±***（卡尺 ，*次元（***））；晶圓中心與掛具中心的偏差＜*.***（*次元（***））；支撐和導電的觸點總數≥***；材料在高溫下抵抗變形的能力**℃（熱機械分析（***））；掛具主體可重復使用的次數****次循環（視工藝苛刻程度而定）（循環測試與性能檢測）（*）電氣性能：單個觸點與晶圓間的導通電阻＜***Ω；所有觸點間電阻的*致性差異＜±*%（*線開爾文測試）（*）化學性能：在藥液中浸泡后的尺寸/重量穩定性：變化率 ＜±*%（浸泡實驗后測量）；金屬接觸點在特定藥液中的腐蝕失重＜*.***/年（浸泡失重法，***/***分析）；臨界點蝕溫度（***）：發生點蝕腐蝕的最低溫度：工藝溫度**℃，標準腐蝕測試（*******等）；密封泄露率：對于有中空密封結構的掛具，其氣密性＜****-*****.*/*（氦檢）氦質譜撿漏儀。（*）功能性能：機械缺陷率＜*.**%（晶圓缺陷掃描儀（*********））平均修復時間(****)：掛具維護或更換所需平均時間*小時。 需要提供實驗測試數據證明。

*.質保*年； *.緊急故障： 響應時間：*-* 小時內（電話 / 視頻遠程排查）； 現場支持：若遠程無法解決，** 小時內派工程師到客戶現場 *.*般故障： 響應時間：* 小時內遠程指導； 解決方案：** 小時內提供維修方案或替換部件。 *.維修服務： 質保期內：免費維修（含配件更換，如導電觸點、定位夾具），往返物流費由供應商承擔； 質保期外：提供付費維修，明確維修報價（含配件費、工時費）。 *.培訓服務：交付后免費提供 *-* 次操作培訓（含掛具裝卸、日常維護、故障排查）

*、有效電鍍面積：***** *、采用螺絲固定搭配扭力扳手 *、耐腐蝕塑料+耐腐蝕合金+耐腐蝕橡膠 *、性能維度：（*）機械性能：外形尺寸：掛具的長，寬，高 具體尺寸公差±***（卡尺 ，*次元（***））；晶圓中心與掛具中心的偏差＜*.***（*次元（***））；支撐和導電的觸點總數≥***；材料在高溫下抵抗變形的能力**℃（熱機械分析（***））；掛具主體可重復使用的次數****次循環（視工藝苛刻程度而定）（循環測試與性能檢測）（*）電氣性能：單個觸點與晶圓間的導通電阻＜***Ω；所有觸點間電阻的*致性差異＜±*%（*線開爾文測試）（*）化學性能：在藥液中浸泡后的尺寸/重量穩定性：變化率 ＜±*%（浸泡實驗后測量）；金屬接觸點在特定藥液中的腐蝕失重＜*.***/年（浸泡失重法，***/***分析）；臨界點蝕溫度（***）：發生點蝕腐蝕的最低溫度：工藝溫度**℃，標準腐蝕測試（*******等）；密封泄露率：對于有中空密封結構的掛具，其氣密性＜****-*****.*/*（氦檢）氦質譜撿漏儀。（*）功能性能：機械缺陷率＜*.**%（晶圓缺陷掃描儀（*********））平均修復時間(****)：掛具維護或更換所需平均時間*小時。 需要提供實驗數據證明。

*.質保*年； *.緊急故障： 響應時間：*-* 小時內（電話 / 視頻遠程排查）； 現場支持：若遠程無法解決，** 小時內派工程師到客戶現場 *.*般故障： 響應時間：* 小時內遠程指導； 解決方案：** 小時內提供維修方案或替換部件。 *.維修服務： 質保期內：免費維修（含配件更換，如導電觸點、定位夾具），往返物流費由供應商承擔； 質保期外：提供付費維修，明確維修報價（含配件費、工時費）。 *.培訓服務：交付后免費提供 *-* 次操作培訓（含掛具裝卸、日常維護、故障排查）