*臺*軸高精度微調(diào)架，支持 *** 粗調(diào) ±*.***、微調(diào) ±*.***，角位粗調(diào) **** / 刻度、微調(diào) *.*** / 刻度，θ*θ* 移動量 ±*.*°（θ* 解析度 **.*°/ 刻度、θ* 解析度 **.*°/ 刻度），θ* 移動量 ±*°（解析度 **°/ 刻度）；*只光纖水平夾具，可支持 ***μ* 光纖緊固，配有 * 個固定塊、磁性吸附及保護墊；*只旋轉(zhuǎn)光纖垂直夾具，用于固定 ***μ* 垂直夾持光纖，粗調(diào) ** - ***°、細調(diào) ±*°，最小讀數(shù) *.**°；芯片*軸調(diào)整組件，支持真空吸附微型器件，** 行程 ****（調(diào)整分辨率 **μ* / 刻度）、* 軸行程 ****（調(diào)整分辨率 **μ* / 刻度）、* 軸 ***°（分辨率 *.**°，連續(xù)可調(diào)）；真空吸附夾具提供*種不同尺寸芯片固定臺；無油真空泵真空度≥*.*****、流量≥ - ***/***、噪音分貝 ** - ****；根據(jù)現(xiàn)場情況提供適配的氣管及安裝配件。

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包含*套探針調(diào)整架、*套射頻探針夾具、*盒直流探針、*套*軸直流針夾具。探針座借助磁力吸附，*、*、* 線性移動行程達 ****，精度為 *.****；射頻探針夾具支持多點探頭水平調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍 ±**°，精度 *.*°；直流探針 * 盒共 * 只，表面鍍鎳金，探針針尖直徑 **** ；*軸直流針夾具配合屏蔽箱使用，漏電精度可達 *****，線長 **。

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*.**×*.**×*.**，底部結(jié)構(gòu)采用阻尼橡膠隔振模塊，臺面采用光學隔振平臺，螺紋孔**，間距**×****，配有隔層板，負載*****，帶電源腳輪，配置*組*** 插排，提供鍵盤支架及顯示器輔助支架

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該系統(tǒng)搭載高清相機支持錄像、拍照、圖像對比、測量、畫線等多元功能；配備連續(xù)變倍高清鏡頭，變倍范圍 *.*-*.**，變倍可實現(xiàn)實時變焦，鏡頭采用標準 * 接口，重復精度達 ***，同時搭配燕尾槽滑臺*自由度調(diào)整結(jié)構(gòu)實現(xiàn)*軸調(diào)整機構(gòu)，行程 ±****；照明方面采用長壽命 *** 光源，色溫范圍 ****-*****，照度 *****~********，支持旋鈕式亮度調(diào)節(jié)；輸出接口為 ****，可實現(xiàn)********* 分辨率、***** 的彩色輸出，還配套 ** 寸高清 **** 顯示器及專用支架。

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