*.真空泵：干式螺桿真空泵； *. 抽速：≥***/*(****/***)； *. 極限真空：＜* **； *. 工作氣壓：*-** **，可恒壓控制； *. 抽真空時間：＜****； *. 真空計：皮拉尼真空計； *. 腔體：~? ******* **； *.數(shù)顯樣品臺：?****可偏轉(zhuǎn)數(shù)顯行星樣品臺，旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速：**-*****可調(diào)，偏轉(zhuǎn)角度：*- **度可調(diào)，靶基距**-****可調(diào)； *. 濺射靶材：配金**靶(純度**.**%，尺寸? ** **.***)和鉑**靶(純度**.**%，尺寸?****.***)，可實現(xiàn)單靶濺射、雙靶交替濺射； *.濺射電源：恒功率磁控**濺射電源 ***. *** ，***. *** **，*-*** * **； **.操作方式：觸摸屏控制，控制系統(tǒng)提供互鎖保護(hù)功能； **.冷卻方式：風(fēng)冷； **.質(zhì)保：不少于*年。

按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供服務(wù)