磁控濺射鍍膜機(jī)
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廣東省采購
磁控濺射鍍膜機(jī)
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單位信息
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- 競價(jià)單位： 華南師范大學(xué)
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- 聯(lián)系手機(jī)： ***********
- *-****：******@*.****.***.**
- 聯(lián)系人： 王幸福
- 傳真：*
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競價(jià)信息
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- 競價(jià)主題：磁控濺射鍍膜機(jī)
- 發(fā)布日期：****/**/** **:**:**
- 最高限價(jià)(元)： 已隱藏
- 送貨要求： 簽訂合同后 ** 天送貨。
- 競價(jià)編號：****************
- 截止日期：****/**/** **:**:**
- 開票單位：華南師范大學(xué)
- 送貨地址： 廣東省廣州市天河區(qū),華南師范大學(xué)
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備注
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附件
產(chǎn)品信息
- 詳情
- 序號
- 產(chǎn)品名稱
- 品牌
- 型號
- 標(biāo)配
- 產(chǎn)品類別
- 單位
- 數(shù)量
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- 磁控濺射鍍膜機(jī)
- 創(chuàng)普
- **-***
- 是
- 其他貨物
- 臺(tái)
- *.**
- 保修期： **個(gè)月 產(chǎn)品規(guī)格： *、設(shè)備可完成各種單層膜、多層膜和共濺射生長混合膜的制備。提供濺射各種鐵磁材料（****）、硬質(zhì)膜（***等）、金屬膜（**、**、**、**、**、**等）、金屬氧化物（****、***、***、***等）的鍍膜工藝。 *、真空室為立式圓柱形腔體，電動(dòng)上開蓋或前開門結(jié)構(gòu)；腔體尺寸：約Φ***(**)×****（**）；前開門配觀察窗（含防污板）；鍍膜室所有焊縫連接均采用氬弧焊接技術(shù)；鍍膜室進(jìn)行內(nèi)表面拋光，外表面電解處理。 *、濺射室極限真空度：≤*.****^-***(經(jīng)烘烤除氣后)；系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤*.****-***.*/*。 *、系統(tǒng)從大氣開始抽氣：濺射室**分鐘可達(dá)到*.****-***；系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)**小時(shí)后真空度：≤***。 *、高真空泵為國際知名品牌高性能分子泵，抽速不小于****/*；低真空泵為雙極旋片泵，抽速不小于**/*；高真空閥門*英寸插板閥全套；其它氣動(dòng)閥門全套。 *、基片尺寸：*英寸或在*英寸的范圍內(nèi)分成若干個(gè)小基片；基片溫度：室溫-***℃，溫控表控溫，控溫精度±*℃，可控可調(diào)；基片公轉(zhuǎn)由調(diào)速電機(jī)驅(qū)動(dòng)，*-**轉(zhuǎn)/分，連續(xù)可調(diào)。 *、濺射室中配有*套高性能永磁磁控靶，磁控靶配有旋轉(zhuǎn)氣動(dòng)擋板結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)開關(guān)靶擋板。并可以監(jiān)測膜厚；靶與樣品距離:****～*****。 *、*臺(tái)****全自動(dòng)匹配射頻電源和*臺(tái)****數(shù)字式直流電源。 *、氣體流量控制：兩路工藝氣體（氬氣和氧氣），采用流量計(jì)控制，最大流量*******，集成到主控系統(tǒng)控制。 **、在*英寸基片上采用直流濺射生長*****的金屬材料和在*英寸基片上、在射頻靶位上采用射頻濺射生長*****的***、****， 要求鍍膜不均勻性優(yōu)于±*%。 **、設(shè)備配有冷卻循環(huán)水冷，制冷量功率不小于***。 售后服務(wù)要求： *. 所有設(shè)備均須由供方按清單內(nèi)的保修時(shí)間提供整機(jī)保修服務(wù)，保修期自供需雙方代表在設(shè)備驗(yàn)收單上簽字之日起計(jì)算。保修費(fèi)用計(jì)入本合同總價(jià)。*. 保修期內(nèi)，供方負(fù)責(zé)對其提供的設(shè)備整機(jī)進(jìn)行維修，并且保證每季度上門檢修*次，不再向需方收取費(fèi)用。*. 設(shè)備故障報(bào)修的響應(yīng)時(shí)間：每天*:**～**:**期間為 *小時(shí)。其余期間為*小時(shí)。*. 如果設(shè)備故障在檢修 **小時(shí)后仍無法排除，供方應(yīng)在**小時(shí)內(nèi)提供不低于故障設(shè)備規(guī)格型號檔次的備用設(shè)備供需方使用，直至故障設(shè)備修復(fù)。*. 所有設(shè)備保修服務(wù)方式均為供方上門保修，即由供方派員到需方設(shè)備使用現(xiàn)場維修。由此產(chǎn)生的*切費(fèi)用均由供方承擔(dān)。
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